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AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發生器

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產品簡介

產品概述:AX8407 發生器通過無聲電放電將純氧氣轉化為臭氧,實現高輸出和高濃度水平。它只需要極少量的摻雜氮氣,遠低于競爭性臭氧發生器所需的水平。因此,污染物(如 NOx 化合物)的存在極低 32。主要特點:高臭氧濃度和流量:臭氧濃度可達 335 g/Nm3 或 21.7 wt%(在 5°C 時),氧氣流量范圍為 5 40 slm,提供工藝靈活性 33。清潔、安全的替代化學處理:臭氧具有高氧化......

詳細介紹

產品細節:AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發生器

AX8407A 0190-17159 是 MKS Instruments 生產的一款高濃度、高流量的臭氧發生器。以下是該產品的詳細信息:

  1. 產品概述
    • AX8407 發生器通過無聲電放電將純氧氣轉化為臭氧,實現高輸出和高濃度水平。它只需要極少量的摻雜氮氣,遠低于競爭性臭氧發生器所需的水平。因此,污染物(如 NOx 化合物)的存在極低 32。
  2. 主要特點
    • 高臭氧濃度和流量:臭氧濃度可達 335 g/Nm3 或 21.7 wt%(在 5°C 時),氧氣流量范圍為 5 – 40 slm,提供工藝靈活性 33。
    • 清潔、安全的替代化學處理:臭氧具有高氧化還原電位,可以在現場生成,并且容易轉化為氧氣,是一種綠色化學品,易于轉化為氧氣 33。
    • 低成本擁有:無需消耗品,無需化學處理成本 33。
    • 可靠性和合規性設計:可靠性測試超過 100,000 小時,符合 CE、UL/CSA 和 SEMI F47 標準 33。

AX8400

產品參數:AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發生器

  • 臭氧輸出:臭氧輸出為 335 g/Nm3(在 5°C 冷卻水時),305 g/Nm3(在 17°C 冷卻水時) 32。
  • 氧氣流量范圍:5 – 40 slm 32。
  • 操作范圍:環境溫度 10 – 40°C(50 – 104°F),名義電池壓力(輸送)15 – 45 psig(100 – 310 kPa) 32。
  • 控制接口:前面板控制和遠程操作 32。
  • 進氣氣體:氧氣:6級或更好 O2,氮氣:100 – 1000 ppm 5級或更好 N2 32。
  • 冷卻水溫度:5 – 25°C(41 – 77°F) 32。
  • 冷卻水過濾:100 微米 32
  • 冷卻水質量:電阻率 ≥ 50 KΩ/cm 32
  • 最小水流量:7.6 lpm(2.0 gpm) 32
  • 電源電壓:208 VAC(±10%) 32。
  • 相位:3? & GND,無中性 32
  • 電流要求:15 安培 32。
  • 頻率:50/60 Hz 32。
  • 重量:59 kg(130 磅) 32。
  • 尺寸:483 x 445 x 267 mm(19.0 x 17.5 x 10.5 英寸)(寬度 x 深度 x 高度)

AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發生器 應用領域:

    • 典型的半導體臭氧應用包括 TEOS/臭氧 CVD、Ta2O5 CVD、光刻膠剝離、晶圓清洗、污染物去除、表面調理、氧化物生長和 ALD。臭氧也非常適合用于制藥和水處理應用,包括清洗、消毒和消毒,以及原位清潔(CIP) 32。
  1. 產品優勢
    • 高純度臭氧:AX8407 是市場上純度的臭氧發生器,通過無聲電放電將純氧氣轉化為臭氧,實現輸出濃度水平 35。
    • 電池結構設計:能夠生產高濃度臭氧,閉環操作提供更嚴格的工藝控制

Product Description

The AX8407A 0190-17159 is a high concentration, high flow ozone generator manufactured by MKS Instruments. Here are the details of the product:

Product Overview:

The AX8407 generator converts pure oxygen to ozone by silent electrical discharge, achieving high output and high concentration levels. It requires only a very small amount of doped nitrogen, far less than the level required for competitive ozone generators. As a result, the presence of pollutants, such as NOx compounds, is extremely low.
Main features:

High ozone concentrations and flows: Ozone concentrations up to 335 g/Nm3 or 21.7 wt% (at 5°C) and oxygen flows in a range of 5-40 slm provide process flexibility.
Clean, safe alternative chemical treatment: Ozone has a high REDOX potential, can be generated on site, and is easily converted to oxygen, is a green chemical that is easily converted to oxygen.
Low cost ownership: no consumables, no chemical processing costs.
Reliability and Compliance design: Over 100,000 hours of reliability testing, compliant with CE, UL/CSA and SEMI F47 standards.

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