潔凈室搬運機器人
負載：165KG
動態范圍：2650mm
控制柜：DX100
用途：搬運、半導體、潔凈室

特點

l 大負載：165KG

l 大動作范圍：水平伸長達2650mm,動作高度達3130mm。

l 潔凈度達到ISO6級，可實現高度柔性的系統布局。

*1：依據JIS B8432標準
*2：潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下，來確保整個潔凈室的潔凈度。
*3：根據用途、作業形式會有所不同。