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東莞燕園半導體科技有限公司
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簡單介紹 本款真空碳管爐是用高純石墨作發熱元件的立式真空電阻爐，供金屬化合物、陶瓷、無機化合物、納米材料等在真空或保護氣氛中燒結制品。
技術參數 1．1額定功率： 50KW 2．2額定電壓： 三相,380V 2．3加熱器電壓： 0-30V（單相） 2．4額定溫度： 2300℃ 2．5工作區尺寸： Φ90×120(mm) 2．6冷態極限真空度： 6.67x10-3Pa 2．7冷卻水水壓： 0.2~0.4Mpa 2．8冷卻水要求： 水質按GB10067.1-88國標，總硬度CaO<10 2．9使用要求：海拔1000M以下、環境溫度0-45度、濕度15%-85% 2．10保護氣氛：1800-2200度高純氬或高純氮，2200度以上露點—60度的高純氬 結構簡介 3．1爐體 為立式爐殼，其內層為1Cr18Ni9做成的圓筒，外殼為碳鋼經防銹處理。兩層之間形成夾套可以通水冷卻，將傳到爐殼內壁上的熱量帶走。內外筒與上下法蘭焊成一個整體，中間開有抽氣孔、觀察孔、熱電偶孔等。 3．2爐體上部是爐蓋，它是有內外封頭和法蘭焊成，中間可通水冷卻爐蓋，裝有鎖緊裝置，松開鎖緊，爐蓋自動向后打開，手動推到*大后即可裝卸工件。 3．3爐底部分也是有內外封頭和法蘭組成，中間通水冷卻，固定在爐體下部，有電極引入，電極通水冷卻。 3．4爐內隔熱屏由石墨碳氈組成，*內層為石墨發熱體，底部隔熱屏由石墨組成。 3．5真空系統 它是由2X-30雙級機械泵及真空閥等組成，真空閥門為手動大蝶閥及手動蝶閥，真空度測量由數顯復合真空計執行。有關真空計的使用請參照真空計使用說明書，注意使用一段時間后，熱偶規管會老化，其工作電流需重新標定，標定方法主要為高真空校低真空法。即當電離真空度小于3×10-2Pa時，低真空規管（熱偶管）的指針應指向0.1Pa以上，否則應調整其工作電流了。 3．6電氣系統 調壓控制柜上可控硅調壓裝置由旋動手動調節，也可自動控制，380V三相電源經過降壓變壓器，電壓降到30V，然后經過電纜再送到電極上。 3．7水冷系統 冷卻水由總管進入，經過各支管送到爐殼、爐蓋、爐底、電極、擴散泵和機械泵等需要冷卻的地方，然后匯總到水箱排出。每路冷卻水都有手動閥門，可以按照需要調節流量大小。進水管上設有電接點壓力表，當水壓低于0.1Mp時，可自動切斷加熱器。
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