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聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)晶圓尺寸:150mm200mm300mm設(shè)備配置:-無(wú)或2個(gè)loadports-8個(gè)或多個(gè)電鍍腔體:Cu、Ni、Sn/Ag、Au-電鍍液種類(lèi):Cu、Ni、Sn/Ag、Au;-具備預(yù)濕腔體和清洗功能;-水平式電鍍腔體,無(wú)交叉污染-支持單腔體維護(hù),提高設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間-橡膠密封技術(shù),更佳密封性能-陰陽(yáng)極分離技術(shù),更佳鍍液穩(wěn)定性工藝指標(biāo):高度均勻性:WiW≤5%,WtW≤5%,RtR≤5%
晶圓尺寸:150mm200mm300mm設(shè)備配置:-無(wú)或2個(gè)loadports-8個(gè)或多個(gè)電鍍腔體:Cu、Ni、Sn/Ag、Au-電鍍液種類(lèi):Cu、Ni、Sn/Ag、Au;-具備預(yù)濕腔體和清洗功能;-水平式電鍍腔體,無(wú)交叉污染-支持單腔體維護(hù),提高設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間-橡膠密封技術(shù),更佳密封性能-陰陽(yáng)極分離技術(shù),更佳鍍液穩(wěn)定性工藝指標(biāo):高度均勻性:WiW≤5%,WtW≤5%,RtR≤5%
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