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思耐達精密儀器(上海)有限公司


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日立 球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

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品       牌

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更新時間:2024-03-23 20:25:56瀏覽次數:156次

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產品簡介

產品介紹 專用掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與德國CEOS GmbH公司(總經理Max Haider先生)共同開發的球差校正儀,顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合高級納米技術研究。由于球差校正系統校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標準型號顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時,探針電流提高了10倍。 最近,該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發射電子槍,進一步提高了圖像分辨率和電......

詳細介紹

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產品介紹:


專用掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與德國CEOS GmbH公司(總經理Max Haider先生)共同開發的球差校正儀,顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合高級納米技術研究。由于球差校正系統校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標準型號顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時,探針電流提高了10倍。

最近,該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發射電子槍,進一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時,該型號系列還增加了一款不帶球差校正的主機配置,可以以后加配球差校正進行升級。


高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像


1、HAADF-STEM圖像0.136 nm,FFT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)

2、HAADF-STEM圖像0.144 nm(標準鏡頭)

3、明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)


高速,高靈敏度能譜分析:探針電流×10倍


1、元素面分布更迅速及時

2、低濃度元素檢測


操作簡化


1、自動圖像對中功能


從樣品制備到觀察分析實現無縫連接


1、樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容


配有各種選購件可執行各種評估和分析操作


1、同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。

2、低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至)

3、高精度放大校準和測量*

4、實時衍射單元*(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)

5、采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)*,具有自動傾斜圖像獲取功能。

6、ELV-3000即時元素面分布系統*(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)

* :選購件


技術指標:


HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡



項目描述
圖像分辨率w/o球差校正儀保證 0.204 nm(當放大倍數為4,000,000時)
w球差校正儀保證 0.144 nm(當放大倍數為7,000,000時)(標準鏡頭)
保證 0.136 nm(HAADF圖像)
保證 0.105 nm(通過FFT)(當放大倍數為7,000,000時)(高分辨率鏡頭*)
放大倍數100倍 至 10,000,000倍
加速電壓200 kV, 120 kV *
成像信號明場掃描透射電子顯微鏡:相襯圖像(TE圖像)
暗場掃描透射電子顯微鏡:原子序數襯度圖像(Z襯度圖像)
二次電子圖像(SE圖像)
電子衍射*
特征X射線分析和面分布(能譜分析)*
電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)*
電子光學系統電子源肖特基發射電子源
冷場致發射器*
照明透鏡系統2-段聚光鏡鏡頭
球差校正儀*六極鏡頭設計
掃描線圈2-段式電磁感應線圈
原子序數襯度收集角控制投影鏡設計
電磁圖像位移±1μm
試片鏡臺樣品移動X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
樣品傾斜單軸-傾斜樣品桿:±30°(標準鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭*)
真空系統
3個離子泵,1個TMP
極限真空10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室)
圖像顯示個人電腦/操作系統PC/AT兼容, Windows® XP
監視器19-inch液晶顯示器面板
圖像幀尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
掃描速度快掃,慢掃(0.5至320秒/幀)
自動數據顯示記錄序號,加速電壓,下標尺,日期,時間


* 選購件

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