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富泰微科學儀器（上海）有限公司


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日立 微型采樣系統

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間：2024-06-17 12:03:42瀏覽次數：60次

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產品簡介

產品介紹 優(yōu)異的高效分析性能 微型采樣方法已在半導體器件分析領域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達到0.1 µm以下。

詳細介紹

微型采樣系統.jpg



產品介紹：


優(yōu)異的高效分析性能

微型采樣方法已在半導體器件分析領域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達到0.1 µm以下。

產品特點：



聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法



聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實例


一個微柱狀樣品，包含一個直接從半導體器件上準確地切割下來的分析點。改變入射聚焦離子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。

系統配置實例：

聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統


新開發(fā)的半導體裝置評估系統由FB2200聚焦離子束(FIB)系統和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構成。從對材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結構分析，只要幾小時即可完成。

聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用

觀察事例：

DRAM 觀察實例

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