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從氣體羅茨流量計自身的結構原理來看，轉子和測量腔對測量結果精度有很大影響，這主要是因為兩個部件的加工精度會影響流量計在裝配工作后的整體工作精度
從氣體羅茨流量計自身的結構原理來看，轉子和測量腔對測量結果精度有很大影響，這主要是因為兩個部件的加工精度會影響流量計在裝配工作后的整體工作精度。轉子加工采用成形銑刀進行加工，但實踐證明效果并不理想。采用該方法加工的轉子表對稱性較差，測量精度受到限制，難以繼續改進。技術改進采用加工中心加工，確保轉子和測量腔的對稱。
除了以上因素，轉子動平衡也是一個十分重要的因素。轉子加工后會發生失衡。不平衡性主要影響初始流量，從而影響氣體羅茨流量計結果的準確性。
同步器加工精度對流量計的影響主要是工作噪聲和測量精度。同步器的作用是保證羅茨輪在工作過程中，始終保持一定的間隙，其直徑隨流量計的直徑變化。通常，小直徑流量計的間隙保持在0.1mm，大直徑為0.4mm。其尺寸直接影響流量計的測量結果。若間隙太大，氣體通過間隙時損失將比較大，從而影響計量的準確性。但是，在進行氣體計量時，氣體中的大量雜質微粒可以通過，而不影響計量工作。在空隙過長時，漏氣量相應減少，流量計測量工作的準確度將提高，大顆粒雜質不能通過間隙，容易造成流量表不能正常工作。
標準的選用對氣體羅茨流量計測量結果的準確性也有影響。標準部件主要是軸承，通常選用進口軸承。要有效地降低流量計的初始流量，提高測量精度，需打開防塵蓋，除去內部潤滑脂，在工作時會產生阻力。為延長軸承壽命，在采用流量計時時，采用噴濺潤滑方式，軸承可及時散熱。
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