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等離子去光阻機

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產品型號GDR-60G

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廠商性質經銷商

所在地煙臺市

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更新時間：2023-06-16 13:56:26瀏覽次數：143次

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招遠普斯瑪等離子技術有限公司

經營模式：經銷商

商鋪產品：5條

所在地區：山東煙臺市

聯系人：張經理（銷售經理）

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產品簡介

采用電感耦合高密度等離子體（ICP），能快速去除晶圓上之殘留光阻，達到晶圓表面潔凈，具有蝕刻率高，無電極污染，離子能量低，不損傷基板等優點。

詳細介紹

◆ 設備外形尺寸（不包括報警燈）

650（W）×900（D）×1600（H）mm

◆ 合金鋁真空倉體（約100升）

450（W）×450（D）×450（H）mm

◆ 電極結構

外置電感耦合電極

◆ 等離子發生器（美國MKS）

頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作

◆ 控制系統

PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

◆ 真空系統（真空壓力PID閉環自動控制）

日本愛發科（ULVAC）機械真空泵 VDN901 （23L/S）

中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器

◆ 充氣系統

美國MKS高精度電子質量流量計（四路氣體配制）

美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

日本SMC及CKD高真空氣閥組件

關鍵詞：報警燈等離子發生器控制系統觸摸屏 PID

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