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廣東海圣科技有限公司
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產品詳細介紹詳細參數內容規格A.一般規格電力系統AC380V350HZ曝光系統光源：氣冷式金屬鹵素燈*2
| 內容 | 規格 | |
| A.一般規格 | ||
| 電力系統 | AC380V3φ50HZ | |
| 曝光系統 | 光源：氣冷式金屬鹵素燈*2，5kW | |
| 均勻度：≥80%以上 | ||
| 強度：40mw/cm²（臺面） Puck(EIT)量測 | ||
| 有效曝光面積：22''*25''底片尺寸：24''*27' | ||
| Panel規格 | 尺寸：12''*12''至22''*25' | |
| 厚度：0.05mm(不含銅)至2.0mm | ||
| 曝光作業 | 雙面同時曝光 | |
| 底片對位系統 | 1.CCD數量：2個/4個可選 | |
| 2.CCD功能：對位準度及底片漲縮檢查 | ||
| 3.對位形式：手調對位 | ||
| 4.底片固定：雙溝槽式真空吸附，真空度-650mmHg以上 | ||
| 5.靶標形式：上底片圓點，下底片圓環 | ||
| 6.對準精度：±12.5μm | ||
| 操作方式 | 作業方式：人工取放板，CCD檢查靶標對準誤差 | |
| 機臺尺寸 | 外部尺寸：3270L*1640W*1800H+120mm | |
| B.系統架構 | ||
| 曝光臺框 | 雙曝光臺面，玻璃VS玻璃 | |
| 曝光控制器 | 智慧型人機介面及曝光能量控制 | |
| 臺面真空 | -180mmHg~-500mmHg | |
| 冷卻 | 燈室：強制氣冷式 | |
| 曝光室：強制氣冷式，抽取室內空氣經HEPA吹入曝光室 | ||
| 潔凈控制 | 潔凈度等級：Class 10000 HEPA過濾網 | |
| 客戶提供環境及周邊設備 | ||
| （1）.室溫21℃±2℃，濕度55%±5%之清潔環境 | ||
| （2）.冰水系統：5噸、流量60L/min、進水溫度7~11℃（依現場配管計算）進出水管徑1-1/4''、排水管徑/4'' | ||
| (3).外接氣源：5Kgf/cm²（流量40~80L/min）管徑1/4''PT快速接頭 | ||
| （4）.時規皮帶加裝保護外蓋 | ||
| （5）.玻璃大對小正壓設計 | ||
| （6）.伺服馬達驅動臺框 | ||
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