通用參數
能夠測量的工件
直徑 < 600 mm
粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件
超快速、超高精度的表面形貌三維成像
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通過光路擴展, 測量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件
通過CGH補償器, 測量復雜曲面
黑色或透明工件, 仍然能夠測量
適合半導體應用的MST(多表面測量) 一次采集, 同時完成上表面、下表面、厚度的計量。
適合半導體應用的jue對測距干涉，量程 > 100 μm 可進行臺階、翹曲度、熱變形的測量。
出色的動態范圍， 超過100條干涉條紋, 仍然可以分析。
將 FEA（有限元分析）引入干涉儀結構設計
根據文獻, 干涉計算對 0~120 Hz 的振動敏感。 因此, 我們將機械結構的 7 階模態設計到 127 Hz， 大大降低了機械結構對振動的敏感性
超高重復精度
對一片 250mm 直徑的平晶進行 1000 次連續測量。
PV 值的重復精度為 5.7 納米 (1/111 λ）
RMS 值的重復精度為 0.38 納米 (1/1666 λ）
VICT Dop模式,數據未經人為修改
三維成像原理
面型干涉是目主流的光學表面計量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路
VICT 技術原理
選件
VICT High 超高精度 測量模式
支持到0.1納米 ( 1/6330 λ）RMS重復精度 和1納米（1/633 λ）PV重復精度， 對環境擾動進行建模分析, 包括振動、氣流、光場在內的負面影響排除。
沒有使用多次測量取平均的方法, 不會導致被測物面型被“美化” 。
VICT Dop 多普勒抗振動測量模式
非常惡劣的工業環境下仍正常工作，所有模式中zui高的測量效率， 允許不使用隔振平臺。
蒙版跟蹤
超分辨三維圖
清潔度分析
基礎配置
| 主機 | 型號 | 測量尺寸(圓形-直徑)(注1) | 立式使用 | 臥式使用 |
| Type100 | 102mm | OK | OK |
| Type150 | 152.4 mm | OK | OK |
| Type250 | 250mm | OK | OK |
| Type340 (注2) | 340mm | OK | OK |
| Type450 | 457.2 mm | x | OK |
| Type600 | 609.6 mm | x | OK |
注1:在80%直徑以內使用時,可以獲得更好的測量效果。
注2:推薦臥式使用,立式使用時會降低精度。 |
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| 激光測距點數 | 標準 | 692,224 |
| 高清 | 2,663,424 |
| 高速 | 186,623 |
| 超高速 | 692,224 |
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| 測量激光 | 激光器類型 | 波長(nm) | 8h波長穩定度(nm)(注1) | 壽命(h)(注2) |
| 穩定氦氖 | 632.8 | 0.0005 | 20,000 |
| 穩定半導體(注3) | 633 | 0.02 | 50,000 |
| 高效氦氖 | 632.8 | 0.1 | 20,000 |
| 高效半導體(注4) | 635 | 6 | 5,000 |
注1:在恒溫,隔振的實驗室測試。
注2:由激光器廠家提供的參考壽命。
注3:推薦用于Vctsin MST
注4:可用于Victsin MST |
| 計算機 | CPU | 獨立顯卡 | 顯示屏 | 操作系統 |
| Intel 12代i712核心 | NVIDIA Quadro | 2k分辨率 | Win10 |
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| 測量軟件 | Victsir軟件模塊 | 掃描方式 | 單平面干涉(注1) | 雙平面干涉(注2) |
| Victsin Static (注3) | 無 | OK | X |
| Victsin PSI | 壓電振鏡 | OK | X |
| Victsin MST | 波長調諧 | OK | OK |
注1:適用于大部分工件。
注2:通常適用于透明工件,同時對上表面,下表面,厚度,進行測量。
注3:基礎版本,不推薦用于高精度測量。 |
測量精度
| jue對精度 注1 | Type 100~250 | Type 340 | Type 450~600 |
| PV | 31.64 nm或1/20λ | 42.19 nm或1/15 λ | 63.28 nm或1/10λ |
| RMS | 6.328 nm或1/100 λ | 8.437 nm或1/75λ | 12.66 nm或1/50 λ |
注1:jue對精度被定義為"參考鏡的jue對精度"實際測量的jue對精度=jue對精度＋重復精度。
注2:波長為測量激光的波長，例如632.8 nm的測量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm .
注3:該精度為我們提供的標準平面參考鏡的精度,更高精度需求請聯系銷售人員。
注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數值請聯系銷售人員確認。 |
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| 重復精度 | VICT-High | VICT-Low | VICT-Dop |
| PV | 1 nm或1/633 λ | 3 nm或1/211λ | 10或1/63λ |
| RMS | 0.1nm或1/6330 λ | 0.3 nm或1/2110 λ | 1 nm或1/633λ |
| 注1:實際精度與測量環境有關，zui高精度與VICT-High相同,表格內數值考慮了輕微的環境擾動。 |
PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值 ）
RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根據經驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類的簡單形狀，大多使用PV值來表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ時，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm
重復精度定義
連續100次測量的允差 (95%置信度)
測試環境
樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內空調關閉，以避免氣流擾動。
被測物
直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。
可靠性與環境要求
| 硬件可靠性 | 平均工作時間>1000小時
平均連續工作時間>12小時/天 |
| 軟件可靠性 | 平均連續工作時間>12小時/天 |
| 對準角度允差 | ± 3° |
| 光瞳調焦范圍 | ≥±1.5米 |
| 運輸和貯存 | 溫度 | +10~+40 °c |
| 濕度 | RH≤60% |
| 工作條件 | 溫度 | +20~+25℃ |
| 溫度變化 | ≤±1℃ @24小時 |
| 濕度 | RH≤50% |
| 電壓 | AC 220V,50 Hz,1.5kW |
筱曉(上海)光子技術有限公司是一家被上海市評為技術企業的業光學服務公司，業務涵蓋設備代理以及項目合作研發，公司位于大虹橋商務板塊，擁有接近2000m²的辦公區域，建有500平的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室，為國內外客戶提供業技術支持服務。公司主要經營光學元件、激光光學測試設備、以及光學系統集成業務。依托業、強大的技術支持，以及良好的商務支持團隊，筱曉的業務范圍正在逐年增長。目業務覆蓋國內外各高校、頂科研機構及相關域等諸多企事業單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及業的研發實驗室，奠定了我們在設備的拓展應用及自主研發域堅實的基礎。
