
Edwards愛德華iH600真空泵廣泛應用于光伏、半導體行業。
Edwards愛德華iH600真空泵產品介紹:
Edwards愛德華iH600 半導體干式真空泵為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性iH600 Edwards半導體干式真空泵在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
詳情介紹:
iH600 Edwards半導體干式真空泵概述
Edwards 半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的性和性能。iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性能的應用。
Edwards愛德華iH600 半導體干式真空泵應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
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iH600 Edwards半導體干式真空泵功能和優勢優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積
愛德華iH600真空泵 Edwards半導體干式真空泵數據

數字均為無氣鎮時的典型值。
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愛德華IH600真空泵目前現貨待售,期待您的詢價!



