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上海舜建儀器有限公司


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STM7測量顯微鏡

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更新時間:2024-03-01 11:27:15瀏覽次數:908次

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產品簡介

無論樣品大小、簡單還是復雜,或執行測量的人員經驗如何,奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。

詳細介紹

可按照個人需求進行測量的顯微鏡

無論樣品大小、簡單還是復雜,或執行測量的人員經驗如何,奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。

優異的光學性能

STM7系列采用了當前光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學系統。

因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,像差也被消除,以確保實現對微小細節的高精度測量。

花崗巖精制而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

為了進一步保證測量精度,STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩定性,使測量可到達亞微米水平,并大大降低誤差。

STM7-LF FEM分析.jpg

STM7-LF FEM分析

簡單易用的高精度3軸測量

簡單易用的高精度3軸測量.jpg


隨著現代制造技術日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測量,Z軸方向的高精度測量也成為必須。為此,奧林巴斯開發了采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統。

嚴格的可追溯系統確保品質可靠

奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的精度,此外,在安裝系統時,奧林巴斯還提供可追溯的校準服務。

可靠的模塊化系統

五種配置讓您可以靈活選擇所需功能。

QQ截圖20231220102217.png

適合您的樣品的載物臺

· 常見問題

1、短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求{? 由于X軸測量區域短于Y軸測量區域,因此必須旋轉樣品

2、由于可測量的范圍窄,無法將數量較多的樣品排列在載物臺上,以實現一次性同時測量

· STM7解決方案

1、STM7提供300 mm x 300 mm載物臺,能夠測量較大的樣品,包括300 mm晶圓和印刷電路板。

2、X軸和Y軸測量區域長度相等,因此無需旋轉樣品

3、較長的X軸和Y軸測量區域允許在載物臺上排列多個樣品,實現更高效的測量

測量行程300 mm x 300 mm

提供三款具有不同測量行程的載物臺供選擇:100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺適合您的應用。

 QQ截圖20231220102449.png

實現更快、更簡單、更精確的高度測量

· 常見問題

進行目視測量時,不同操作員會測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法非常耗時,效率低下。

· STM7解決方案

STM7聚焦導航系統減少了操作員的主觀性對高度測量的影響。它還可以縮短執行高度測量所需的時間,以實現更高的效率

技術規格

STM7規格(手動型號)


手動型號


小型載物臺中型載物臺大型載物臺
顯微鏡主體


STM7-SFSTM7-MFSTM7-LF
聚焦垂直移動范圍175 mm145 mm
測量高度120 mm(使用測量物鏡)
175 mm(使用金相物鏡)
90 mm(使用測量物鏡)
145 mm(使用金相物鏡)*1
Z軸測量分辨率0.1 um
Z軸驅動方法手動同軸微調焦/粗調焦旋鈕
照明LED 照明白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明
觀察鏡筒MM6-ETR正像三目鏡筒(100:0/0:100)
目鏡(F.N.22)MM6-OCC10X(帶十字線)、MM6-OC10X
物鏡BF(明場)MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物鏡轉換器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡
BF(明場)/DF(暗場)MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉換器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡
LED 裝置白色(反射)MM6-ILW
綠色(透射)MM6-ILG
載物臺


STM7-CS100STM7-CS200STM7-CS300
測量范圍X軸100 mm,Y軸100 mmX軸200 mm,Y軸200 mmX軸300 mm,Y軸300 mm
測量精度
(L:測量長度)
(3+2L/100) μm(3+4L/200) μm(3+6L/300) μm
精度保證重量6 kg10 kg15 kg
計數器


STM7-DI
軸數三軸
單位毫米/微米/英寸/密耳
分辨率0.1 um
控制箱STM7-CB
手控開關STM7-HS
聚焦控制器
接口線纜
防振基座STM7-VI
電源線纜UYCP
尺寸(寬x深x高)mm466 x 583 x 651606 x 762 x 651804 x 1024 x 686
重量(kg)84 kg152 kg277 kg
功耗100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離

物鏡1X3X5X10X20X50X100X
測量物鏡MM6-OB系列59.676.865.450.5
金相物鏡MPLFLN系列明場20.011.03.11.01.0
LMPLFLN系列長工作距離22.521.012.010.63.4
MPLFLN-BD系列明場/暗場12.06.53.01.01.0
LMPLFLN-BD系列明場/暗場,長工作距離15.010.012.010.63.3

STM7-BSW系統要求

項目
CPU對于STM7-CU相機,需要Intel Core i3處理器3 GHz或更高;對于DP23/DP28相機,需要Intel Core i5或同等或更高級別處理器
內存對于STM7-CU相機,為4 GB或更高;對于DP23/DP28相機,至少需要8 GB,建議16 GB
硬盤可用空間安裝需要100 GB或更大硬盤空間,建議使用SSD硬盤以實現高速圖像采集
顯卡支持分辨率1980 x 1080和32位色的顯卡
驅動器DVD驅動器
PC輸入設備2鍵鼠標(建議使用帶滾輪的3鍵鼠標)、鍵盤
操作系統Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations(64位)
網絡瀏覽器Internet Explorer 11

* 還支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。


STM7規格(電動型號)


電動型號


中型載物臺大型載物臺
顯微鏡主體


STM7-MFASTM7-LFA
聚焦垂直移動范圍175 mm145 mm
測量高度120 mm(使用測量物鏡)
175 mm(使用金相物鏡)
90 mm(使用測量物鏡)
145 mm(使用金相物鏡)*1
Z軸測量分辨率0.1 um
Z軸驅動方法電動
  • 聚焦按鈕:粗調移動速度8 mm/s(值)

  • 微調焦/粗調焦旋鈕:微調焦速度有4檔可供選擇(800 μm、400 μm、100 μm、50 μm)

照明LED 照明白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明
觀察鏡筒MM6-ETR正像三目鏡筒(100:0/0:100)
目鏡(F.N.22)MM6-OCC10X(帶十字線)、MM6-OC10X
物鏡BF(明場)MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物鏡轉換器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物鏡
BF(明場)/DF(暗場)MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物鏡轉換器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物鏡
LED 裝置白色(反射)MM6-ILW
綠色(透射)MM6-ILG
載物臺


STM7-CS200STM7-CS300
測量范圍X軸200 mm,Y軸200 mmX軸300 mm,Y軸300 mm
測量精度
(L:測量長度)
(3+4L/200) μm(3+6L/300) μm
精度保證重量10 kg15 kg
計數器


STM7-DI
軸數三軸
單位毫米/微米/英寸/密耳
分辨率0.1 um
控制箱STM7-CBA
手控開關
聚焦控制器STM7-MCZ
接口線纜U-IFCBL200U-IFCBL200
防振基座STM7-VI
電源線纜UYCP
尺寸(寬x深x高)mm606 x 762 x 811804 x 1024 x 844
重量(kg)159 kg284 kg
功耗00-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A100-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

選件

物鏡測量物鏡MM6-OB系列
(1X /3X /5X /10X)
聚焦導航器聚焦導航器裝置STM7-FN
綠光LED裝置MM6-ILG
自動聚焦自動對焦單元STM7-AF
微分干涉對比度用于反射光的U-DICR DIC插槽U-DICR
軟件/相機*1測量支持軟件STM7-BSW
相機低端數碼相機STM7-CU
中端數碼相機DP23-CU
數碼相機DP28-CU
TV適配器帶0.5倍鏡頭的C型相機接口觀察筒U-TV0.5XC-3
帶0.35倍鏡頭的C型相機接口觀察筒U-TV0/35XC-2
可旋轉載物臺行程100 x 100 mmSTM7-RS100
行程200 x 200 mmSTM7-RS200
行程300 x 300 mmSTM7-RS300
ND濾鏡ND濾鏡(透射率6%)U-25ND6
ND濾鏡(透射率25%)U-25ND25
微分干涉對比度微分干涉對比度/偏振鏡U-PO3
微分干涉對比度/檢偏鏡U-AN360-3
軟件MIA、EFI(可選軟件)STM7-ASW-ME
腳踏開關STM7-FS
電源裝置MM6-ILPS-2
載物臺測微計OB-M/OB-MM

*1 支持的相機因STM7-BSW版本而異。
1.3.3版或更早版本:STM7-CU
1.4.1版或更新版本:DP23/DP28

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