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超聲掃描顯微鏡AW™系列

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產品簡介

超聲掃描顯微鏡AW™系列，容量大,產能高,靈敏度高。

詳細介紹

超聲掃描顯微鏡AW™系列，容量大,產能高,靈敏度高。

AWTM系列產品是專門為粘合晶圓及硅片設計的全自動 C-SAM®系統,容量大,產能高,靈敏度高。通常用來檢測SOI,MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明的,Sonoscan利用自己專門研制的高頻探頭進行分析, 以獲取精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米的空洞和薄如200埃的分層。

關鍵詞：顯微鏡

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