小型等離子去膠機作為半導體制程和光電子工業中的重要設備，其優勢特點在于高效去膠、操作簡便、適用廣泛、環保安全等方面。它通過產生高能等離子體，對材料表面進行微觀層面的處理，實現快速、高效且環保的去膠效果。
-短時間內去除膠水或粘合劑：能夠在相對較短的時間內對膠水或粘合劑進行高效去除，這大大提高了生產效率。
-提高生產效率：通過高能等離子體反應，能夠快速、高效地去除膠層，從而大大縮短了處理時間。
-易于上手：設計簡潔，操作方便，使得操作人員能夠快速上手，降低了使用門檻。
-維護簡單：這類設備的維護相對簡單，有助于減少因設備維護帶來的生產延誤和成本增加。
-處理各種材料：等離子去膠技術適用于處理各種材料，包括金屬、塑料、橡膠等，這使得它具有更廣泛的應用范圍。
-適用于不同尺寸的硅片：小型等離子去膠機適合于處理4到6寸硅片及相同面積的去膠工作，滿足了不同尺寸需求的清潔工作。
-無需化學試劑：等離子去膠技術采用物理去膠方式，無需添加化學試劑，這樣不僅減少了對環境的污染，也保障了操作人員的健康安全。
-防止油霧回流：部分小型等離子去膠機配備有節流閥，可以有效防止真空泵油霧回流，進一步提高了工作環境的潔凈度和安全性。
-避免殘留問題：由于等離子技術能夠在微觀層面對材料表面進行處理，去膠效果更加完善，避免了化學方法可能存在的殘留問題。
-前后吹掃功能：部分機型具備前后吹掃功能，保證了樣品處理后的潔凈度，提升了去膠質量。
小型等離子去膠機的操作注意事項：
-安全措施：操作時應嚴格遵守安全規程，包括正確使用個人防護裝備，以及避免直接接觸等離子體。
-維護要求：定期對設備進行維護和檢查，確保機器的正常運行和長壽命，特別是真空泵和氣體供給系統需要保持清潔和順暢。
