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小型新款磁控濺射儀

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間:2024-05-03 08:39:19瀏覽次數(shù):113次

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產(chǎn)品簡介

KT-Z1650PVD是一款小型新款磁控濺射儀小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

詳細(xì)介紹

    KT-Z1650PVD是一款小型新款磁控濺射儀小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。



針對市場上其它型號我們做如下改進(jìn)

1 腔體擴(kuò)充口可增加擴(kuò)展口  大可擴(kuò)展KF40接口方便連接分子泵 或 晶控傳感器

2 樣品可旋轉(zhuǎn) 大轉(zhuǎn)速20轉(zhuǎn)每分鐘 使鍍膜樣品更均勻

3 輕旋轉(zhuǎn)機(jī)械手柄 樣品高度可精細(xì)調(diào)節(jié) 樣品距離靶材距離可到1mm

4 電動(dòng)擋板 使用人機(jī)界面程序控制打開或者關(guān)閉時(shí)間

5 可通過人機(jī)界面手動(dòng)或者使用編程自動(dòng)控制預(yù)濺射(洗靶) 恒定功率輸出  變換功率輸出 定時(shí)打開擋板(時(shí)間單位 秒)關(guān)閉擋板 樣品轉(zhuǎn)速  工藝可存儲(chǔ)  工藝名稱可改 利如 噴金20納米厚

6 腔體上蓋鉸鏈安裝 更換靶材方便操作

7 此產(chǎn)品已申請多項(xiàng)技術(shù) 抄襲請慎重!!!

小型新款磁控濺射儀技術(shù)參數(shù):

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

大功率

≤1000W

大輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

極限真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (大可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口




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