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鄭州科探儀器設備有限公司
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水冷型濺射儀，KT-Z1650PVD，桌面式小型濺射儀，內配自動電動擋板，可保護樣品或清洗靶材。
水冷型濺射儀，KT-Z1650PVD，是一種緊湊型全自動濺射鍍膜機，使用非常簡單。由于*的插件概念，該設備很容易配置濺射或蒸發，只需更換工藝頭。涂層前后可進行等離子處理。模塊化設計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。
高度調節和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉階段或旋轉行星階段，每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段，膜厚監測都作為標準。.
•高性能濺射、碳涂層和等離子處理
•獲得的碳線軸–最多50個碳涂層，無需用戶干預
•*的即插即用濺射和碳涂層模塊
•真空性能和快速泵送時間
水冷型濺射儀，技術參數；
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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