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鄭州科探儀器設備有限公司


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桌面小型離子濺射儀

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地鄭州市

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更新時間:2024-05-03 12:09:14瀏覽次數:77次

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產品簡介

桌面小型離子濺射儀本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導電膜),儀器操作簡單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器

詳細介紹

桌面小型離子濺射儀

離子濺射儀為一種有著緊湊結構的桌上型鍍膜系統,對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。


離子濺射儀在掃描電鏡(SEM)的樣品噴金方便為專用的儀器,樣品的導電性及導熱性可以非常有效的提供,使恒沉積速率得到確保,使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少,使掃描電鏡觀測結果得到了較為顯著的提高。



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桌面小型離子濺射儀技術參數;

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口







關鍵詞:人機界面

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