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光譜共焦位移傳感器

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產品型號TS-RM2500

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廠商性質經銷商

所在地深圳市

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聯系方式：魏成毅查看聯系方式

更新時間：2024-10-11 17:10:51瀏覽次數：101次

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法瀾克儀器設備（深圳）有限公司

經營模式：經銷商

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產品簡介

TS-RM2500 激光位移傳感器由于其采用三角測距原理且光斑大，測量段差及間隙時，存在多面反射導致形狀輪廓失真、邊緣位置異常波動、檢測精度下降等問題。THINKFOCUS采用光譜共焦測量技術且測量光斑最小可至10μm，可以測量出清晰的外形輪廓，且可以保證非常高的測量精度。

詳細介紹

共聚焦效應最關鍵的就是將反射光聚焦到針孔上，然后光感應器件接收透過針孔的光信號解析位移測量值，整個光學原理決定著測量光斑越小，系統分辨率和精度越高。日系和國產光譜共焦傳感器因為收光能力弱，系統穩定性差，只能刻意放大測量光斑尺寸，以至傳感器精度嚴重下降，但是從分辨率上不會明顯顯現，其實把傳感器的測量光斑做的超大就像把傳感器做成了“智障"。THINKFOCUS光譜共焦位移傳感器測量光斑基本在10-20um。傳感器的橫向分辨率是測量光斑的一半，測量光斑大小決定了傳感器的橫向分辨率，比如測量一個0.1mm寬的邊沿臺階，必須使用光譜共焦傳感器。