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上海旭為光電科技有限公司
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Difrotec 在光學測試方面開發了一項突破性技術Difrotec 在光學測試方面開發了一項突破性技術Difrotec是超高精度光學表面貼圖的。我們在光學系統和光學圖像處理的數學建模，開發用于DUV和EUV光刻的高精度光學系統的組裝，調整和測試的計算機模型的開發方面擁有30多年的經驗，在點衍射波陣面研究方面已有8年以上的經驗測試各種參數的光學元件。我們開發設計和制造了市場上臺商......
| 峰谷精度 | ± 0.6 nm （λ / 1000） |
| 峰谷分辨率 | 0.05 nm（λ/ 12000） |
| 波前RMS重復性 | < 0.23="" nm（λ=""> |
| 單點RMS重復性 | < 0.06="" nm（λ=""> |
| 激光類型和波長 | He-Ne ，632.8 nm |
| 數值孔徑NA | 0.55（f＃0.91） |
| 數據采集 | 相移干涉技術（PSI） |
| 圖像縮放系統 | 通過軟件界面控制4倍光學變焦 |
| 采集時間 | 10ms |
| 曝光時間 | 最小40μs |
| 光學聚焦范圍 | ±2m |
理想參考：無使用物理參考引入的傳播錯誤
透射球面檢測精度比Fizeau干涉儀的檢測精度高100倍
D7比其他干涉儀檢查更多的表面特征
高穩定性
應用范圍廣
無回程誤差
2.球形凸面：
3.平面：
4.光學系統（波前質量測試）：
光學測試和測量服務包括測試光學系統的凹面，凸面，直角立方體，平面，非球面，自由形式和透射波前的表面圖形，以及曲率半徑的測量
基于在高精度光學系統計算機建模方面的30多年經驗，我們建立了自己的合作伙伴關系，以設計和制造高質量的光學器件。我們在光學制造方面的長期合作伙伴是KPU-韓國工業大學。
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