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鄭州科探儀器設備有限公司
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高低溫真空探針臺：該探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜，高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為60*60不銹鋼臺面，臺面可升溫400°C，真空腔體設計有進氣口和抽真空接口，探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點即可進行檢測。
高低溫真空探針臺：
真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩定，溫控精度及機械精度高等特點；根據測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-190℃，；真空系統可選機械泵或分子泵系統，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor 。為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定，減少探針的移動。
高低溫真空探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
高低溫真空探針臺的技術資料
真空腔體 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側開 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
內腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣190~400℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針材質 | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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