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鄭州科探儀器設備有限公司


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高低溫真空探針臺

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參  考  價:98000
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號

    KT--Z1604T-RL

  • 品牌

    鄭科探

  • 廠商性質

    生產商

  • 所在地

    鄭州市

規格

98000元 66臺可售

聯系方式:張正敏查看聯系方式

更新時間:2024-08-26 10:36:51瀏覽次數:176次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:100條

所在地區:河南鄭州市

聯系人:張正敏 (銷售)

產品簡介

高低溫真空探針臺:該探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試,廣泛應用于復雜,高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為60*60不銹鋼臺面,臺面可升溫400°C,真空腔體設計有進氣口和抽真空接口,探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環境下精密移位調節,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點即可進行檢測。

詳細介紹

高低溫真空探針臺

真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量,真空腔一體成型,具有設計合理,真空度穩定,溫控精度及機械精度高等特點;根據測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至-190,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Torr10-6Tor 。為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設計了隔振器,很大程度地衰減泵組工作時產生的振動,以確保系統的穩定,減少探針的移動。

高低溫真空探針臺應用:

可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LEDLCD/OLEDLD/PDPCBFPC等生產制造領域。

 高低溫真空探針臺

高低溫真空探針臺的技術資料

真空腔體

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

190~400℃

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMABNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V

探針數量

4探針

探針材質

鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源

顯示屏

8

放大倍數

19-135,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 


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