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鄭州科探儀器設備有限公司


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小型桌面式鎢舟加熱鍍膜儀

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參  考  價:38600
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號

    KT--Z1650CVD

  • 品牌

    鄭科探

  • 廠商性質

    生產商

  • 所在地

    鄭州市

規格

38600元 66臺可售

聯系方式:張正敏查看聯系方式

更新時間:2024-09-02 14:36:58瀏覽次數:130次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:100條

所在地區:河南鄭州市

聯系人:張正敏 (銷售)

產品簡介

小型桌面式鎢舟加熱鍍膜儀:KT—Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓,電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

詳細介紹

小型桌面式鎢舟加熱鍍膜儀是一款小型多功能鍍膜儀,額定1800度高溫,自動樣品擋板,靶臺旋轉,觸摸屏多段控制,工藝儲存等功能。

空蒸發鍍膜包括以下基本過程:

1)加熱蒸發過程:包括由凝聚相轉變為氣相的過程,每種蒸發物質在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。(2)氣態原子或分子在蒸發源與基片之間運輸,即原子或分子在環境氣氛中的飛行過程。

3)蒸發原子或分子在基片表面張得沉積過程。即是蒸發,凝聚,成核,核生長,形成連續的膜。由于基板溫度遠低于基板溫度遠低于蒸發源溫度,因此,氣態分子在基片表面將發生直接由氣態到固態的相轉變過程。

小型桌面式鎢舟加熱鍍膜儀技術資料:

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1200W

輸出電壓電流

電壓≤12V 電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62 (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8/分鐘

樣品蒸發源調節距離

70-140mm

蒸發溫度調節

≤1800℃

支持蒸發坩堝類型

鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩

預留真空接口

KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa

數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa


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