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三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司
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所 在 地天津市
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更新時間:2024-08-06 14:06:00瀏覽次數(shù):37次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)典型應(yīng)用:激光加工、顯微成像、表面分析、光學(xué)對準(zhǔn)、光學(xué)測量
典型應(yīng)用:激光加工、顯微成像、表面分析、光學(xué)對準(zhǔn)、光學(xué)測量。
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米(nm)的位移,整個系統(tǒng)包含3部分:納米位移臺、控制器和控制軟件。
納米位移臺是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。三英設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置精密傳感器,閉環(huán)控制時,三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時,納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)。控制器周期性的處理位移數(shù)據(jù)并修正輸出電壓信號,從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對外通信方式有多種,常用的方式是通過BNC模擬信號(-10V~10V)控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
如有客戶需求,三英可以對納米位移運動控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,以提供及時、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。
納米定位平臺 納米位移臺 柔性鉸鏈平臺 電控位移臺 高精度電控位移臺 精密滑臺 壓電平臺 壓電納米臺 納米壓電平臺 納米定位臺 壓電柔性鉸鏈平臺 壓電掃描臺 壓電定位臺 壓電納米定位臺 超低溫納米定位臺
型號 | NS-XY200-02 |
運動軸 | X/Y |
傳感器類型 | 電容式 |
閉環(huán)行程( μm ) | 200/200 |
閉環(huán)分辨率( nm ) | 0.8/0.8 |
線性度( % ) | 0.02/0.02 |
無負(fù)載下諧振頻率( Hz ) | 500/500 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 鋁合金 |
負(fù)載( kg ) | 5 |
自重( kg ) | 0.59 |
尺寸( mm ) | 140×140×20.8 |
適配控制器 | SC100-A/SC300-2/SC400-2 |
注:閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。
NS-XY200-02尺寸圖
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