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菏澤力芯電子科技有限公司
RCA半導體清洗機清洗工藝可以有效去除晶圓、硅片、半導體表面的細微顆粒物、金屬殘留、光刻膠殘留物等問題。
RCA清洗機半導體清洗設備可定制
公司設計生產 半導體清洗設備、CDS系統、電化學鍍設備各種石英存儲柜、閥箱、花籃、閥門、泵、接頭PFA焊接機等。
半導體清洗設備:包含手動/自動/半自動槽式清洗機、全自動去膠機、自動混酸蝕刻機、單片清洗機等等 ,可根據客戶需求定制產品。
1、機臺采用進口勞士領板材,長期可工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防痛。
2、對芯片表面有機和無機物的有效處理工藝設備,可清洗4“,5",6“硅片。
3、可設計手動全自動運行設計,全自動運行方式采用兩只機械手運行,更有效提高效率降低成本。
4、清洗能力:4~6寸圓片,25片2籃/批
5、全方面的警報提示功能,防呆設計功能。
6、各工藝槽模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統一的承漏底盤中。
7、工藝槽可設計提動動作,清洗更快更干凈。
8、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI.
9、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE充滿氨氣的槍各1只置于右側,10、設備設計標準按半導體行業標準(SEMI-S2-93)執行,1809001質量管理體系進行規范和保證。
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