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菏澤力芯電子科技有限公司
立式爐管清洗機專為半導體晶圓行業濕法制程設計,通過使用DIW(去離子水)噴淋方式,對爐管進行高效清洗。該設備適用于手動清洗機臺,能夠有效去除0.2um以上的particle,且去除率至少達到95%
我司設計生產 半導體清洗設備、CDS系統、電化學鍍設備各種石英存儲柜、閥箱、花籃、閥門、泵、接頭PFA焊接機等。
半導體清洗設備:包含手動/自動/半自動槽式清洗機、全自動去膠機、自動混酸蝕刻機、單片清洗機等等 ,可根據客戶需求定制產品。
立式爐管清洗機專為半導體晶圓行業濕法制程設計,通過使用DIW(去離子水)噴淋方式,對爐管進行高效清洗。該設備適用于手動清洗機臺,能夠有效去除0.2um以上的particle,且去除率至少達到95%
現代立式爐管清洗機通常采用旋轉+噴淋的清洗方式,結合PLC控制和軟件多重互鎖,確保了清洗過程的穩定性和高效性。同時,該設備設計有排風系統和漏液檢測系統,便于維護,提高了設備的安全性和可靠性。
應用領域
立式爐管清洗機廣泛應用于半導體制造領域,特別是在晶圓級預燒、磁性退火、黏晶固化、穩定性測試、熱沖擊處理等工藝中,對爐管的清洗要求很高。
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