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菏澤力芯電子科技有限公司
臥式石英舟清洗機是專為半導體制造過程中的石英舟和石英管設計的清洗設備。它通過使用去離子水(DIW)、酸液等藥液,對8寸/12寸等多種尺寸的石英舟/石英管進行高效清洗。
菏澤力芯電子科技有限公司設計生產 半導體清洗設備、CDS系統、電化學鍍設備各種石英存儲柜、閥箱、花籃、閥門、泵、接頭PFA焊接機等。
半導體清洗設備:包含手動/自動/半自動槽式清洗機、全自動去膠機、自動混酸蝕刻機、單片清洗機等等 ,可根據客戶需求定制產品
臥式石英舟清洗機是專為半導體制造過程中的石英舟和石英管設計的清洗設備。它通過使用去離子水(DIW)、酸液等藥液,對8寸/12寸等多種尺寸的石英舟/石英管進行高效清洗。
該設備利用機械手帶動花籃進行水平和升降運動,使石英舟在超純水工藝槽和化學工藝槽內進行振動清洗。同時,通過管路系統對廢液進行分類排放及回收,減少了廢液處理過程中的浪費,節(jié)省了回收成本。
技術特點:
自動補液功能,通過液位傳感器控制,確保清洗液的穩(wěn)定供應。
藥液循環(huán)過濾,保持清洗液的清潔度,提高清洗效果。
爐管滾動,使石英舟在清洗過程中均勻受力,避免局部殘留。
獨立取樣口,方便對清洗效果進行實時監(jiān)控。
排酸權限分級、排酸彈窗確認、門鎖Interlock、EMO等安全措施,確保設備操作的安全性。
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