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深圳市恒歌科技有限公司
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恒歌DF系列擴散器專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規避了湍流產生，對工藝室環境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設計，靈活適應各類安裝空間。
產品介紹
恒歌DF系列擴散器專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規避了湍流產生，對工藝室環境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設計，靈適
應各類安裝空間。深圳市恒歌科技有限公司致力于高難度燒結過濾器的研發生產是集多孔燒結過濾器、半導體氣體過濾器的研發、制造、銷售和OEM/ODM服務為一體的技術企業
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