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派珂納米科技(蘇州)有限公司
派珂納米公司自主研發生產的派瑞林真空鍍膜設備,從鍍膜方式上的不同可分為:立式鍍膜設備和臥式鍍膜設備。
派瑞林沉積過程是將二甲苯環二聚體加熱氣化后再經高溫裂解成游離的氣相分子,并在真空、室溫條件下瞬間吸附在基板上聚合成膜,形成氣密性很好的保護膜。由于材料中不含溶劑,所以克服了以往使用的溶劑性涂料在烘干過程中因溶劑揮發而留下許多細微針孔的缺點,可以提供真正的無針孔的保護膜。
派瑞林沉積設備分為4部分,如下圖所示,分別為150℃升華腔、680℃裂解腔、25℃沉積腔和-90℃的冷肼。它們是一個連續的過程, 三個腔室相互連通相輔相成,不同的溫度和不同的真空度決定了它們不同的設備結構工藝。各個腔室良好的工藝結構設計又保證了Parylene膜的均勻性、 膜的質量度、成膜的速率、材料的利用率等等。當然膜的質量和Parylene原料的純凈度、質量也有密切的關聯。各因素互相牽連、 互相制約,生產工藝具有很高的技術含量,所謂“三分設備七分工藝"就是這個原因吧!
派珂公司立式鍍膜設備根據沉積腔室的大小不同,可分為多種型號供客戶選擇。在此介紹下適用于高校研究所用的小型實驗室設備,該款設備將冷阱、真空泵和主機集為一體,縮小了設備整體的占地面積,滿足高校實驗室的空間緊張的需求,同時該款設備進料口采用特殊的結構設計,使得派瑞林原料不易在石英玻璃管內壁沉積,大大減少了清理的次數。
臥式鍍膜設備,對產品進行炒瓜子式的滾動涂敷的方式進行鍍膜,鍍膜時產品依然需要均速轉動,以達到鍍膜產品完好的外觀。適用于該方式的鍍膜產品有磁材材料、密封圈、動物標簽等尺寸較小的產品。
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