兩探針電阻率測試儀型號:CN60M-FT-300TZ庫號：M291339  

參照標準：  

GB/T1551-2009硅單晶電阻率測定方法-方法2直流兩探針法；  

SEMIMF397-1106<<硅棒電阻率測定兩探針法>>  

參數資料  

1.電阻率：10^-7～2×10^7Ω-cm  

2.電阻：10^-7～2×10^7Ω  

3.電導率：5×10^-7～10^7s/cm  

4.分辨率：0.1μΩ測量±（0.05%讀數±5字）  

5.測量電壓量程：2mV20mV200mV2V測量±（0.1%讀數）  

6.分辨率：0.1uV1uV10uV100uV  

7.電流輸出：直流電流0～1000mA連續可調，  

量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA,：±0.2%讀數±2字  

8.顯示方式：液晶顯示：電阻值、電阻率、電導率值、溫度、單位自動換算、橫截面、高度、電流、電壓等.  

9.溫度要求：23℃±1℃  

10.電源：220±10%50HZ/60HZ  

11.測量平臺參數如下：  

1）.可測硅芯、檢驗棒尺寸：直徑4~22㎜（其他規格可定制）  

2）.探針頭探針與試樣接觸位置重復，無橫向移動。  

3）.兩探針測試探針。探頭間距1.59mm（其他規格可定制）；探針機械游率：±0.3%。  

4）.探針直徑0.8㎜；探針壓力總6-12N，探針材料：鎢針，  

5）.探針間及探針與其他部分之間的緣電阻大于109歐  

12.標配外選購項：a.pc軟件1套；b.標準電阻1件；c.電腦和打印機