濺射蒸碳儀器現貨 庫號：M402923

規格 參數

主機 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

副機 300mm×360mm×140mm（W×D×H）

真空規 皮拉尼真空計

濺射靶 二極直流濺射靶 （標配）磁控靶（選配）

靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）

靶材 Au(純度99.99%）

蒸發材料 碳纖維繩

樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃

濺射面積 Φ50mm

蒸碳面積 140mm

高真空度 ≤4×10-2mbar

濺射大電流 50mA （磁控靶100mA）

熱蒸發大電流 100A

濺射定時器時間 0-360s

熱蒸發時間 0-1s

微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管

可通入氣體 多種

濺射高電壓 -1600DCV

熱蒸發高電壓 28V

電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭

機械泵 2L/S

重量 40Kg

規格 參數

主機 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

副機 300mm×360mm×140mm（W×D×H）

真空規 皮拉尼真空計

濺射靶 二極直流濺射靶 （標配）磁控靶（選配）

靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）

靶材 Au(純度99.99%）

蒸發材料 碳纖維繩

樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃

濺射面積 Φ50mm

蒸碳面積 140mm

高真空度 ≤4×10-2mbar

濺射大電流 50mA （磁控靶100mA）

熱蒸發大電流 100A

濺射定時器時間 0-360s

熱蒸發時間 0-1s

微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管

可通入氣體 多種

濺射高電壓 -1600DCV

熱蒸發高電壓 28V

電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭

機械泵 2L/S

重量 40Kg

濺射蒸碳儀器現貨 庫號：M402923