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曦源科學儀器（上海）有限公司


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數字式液體質量流量計

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參  考  價:￥18000 - ￥25000 /個
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號

    HORIBA XF-100 系列

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質

    代理商

  • 所在地

    上海市

聯系方式：楊二冬查看聯系方式

更新時間：2025-05-27 14:25:26瀏覽次數：32次

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經營模式：代理商

商鋪產品：16條

所在地區：上海上海市

聯系人：楊二冬 （銷售經理）

產品簡介

HORIBA XF-100 系列是專為半導體制造、化學機械拋光（CMP）及高純化學品控制等領域設計的高精度數字式液體質量流量計（Digital Liquid Mass Flow Meter）。

詳細介紹

HORIBA XF-100 系列數字式液體質量流量計

產品概述

HORIBA XF-100 系列是專為半導體制造、化學機械拋光（CMP）及高純化學品控制等領域設計的高精度數字式液體質量流量計（Digital Liquid Mass Flow Meter）。該系列采用差壓測量原理結合材料物性補償技術，能夠實現穩定、快速、無污染的液體流量控制，是新一代高性能流體控制解決方案。

核心優勢

  • 高精度測量：采用哈根-波伊修定律（Hagen-Poiseuille）實現±0.8% F.S. 的流量測量精度

  • 超快響應時間：響應時間低至0.8秒，加快工藝穩定速度

  • 無油潔凈設計：無機械運動部件，無需油封，避免化學品污染，適用于高純液體

  • 單通道流動結構：有效抑制氣泡滯留，提升流量檢測穩定性

  • 多種通信接口：支持模擬信號輸出、RS-485、DeviceNet 等，便于系統集成

技術參數（以 XF-122 為例）

  • 流量范圍：0.2 至 30 g/min

  • 測量精度：±0.8% F.S.

  • 響應時間：小于等于 0.8 秒

  • 工作溫度范圍：0 至 50 攝氏度

  • 工作壓力：1.0 MPa

  • 可測液體類型：非腐蝕性液體，粘度不高于 10 cP

  • 通信接口：支持模擬輸出（0–5V）、RS-485 數字通信、DeviceNet

  • 電源要求：24 V DC 電源供電

應用領域

  • 半導體制造工藝（薄膜沉積、刻蝕、清洗）

  • CMP 拋光液/化學液體精準控制

  • OLED 顯示器生產液體輸送

  • 精密流體輸送系統

  • 醫藥與化學試劑輸送與配比



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