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EXT75DX 是一種是混合軸承復合分子泵，它將經實踐證明的陶瓷機械下軸承、干式永磁上軸承和 Holweck 分級技術與帶來額外便利性的板上 24 V 控制器結合在了一起，該控制器可實現與 TAG 和 TIC 控制器兼容的并行和串行通信。它隨附 aDN40NW、ISO63、DN63CF 或 ISO100 入口法蘭，N₂ 抽速zui高可達 66ls^-1。基本的泵系統可能需要 EXT75DX 泵、TAG 或 TIC 控制器，或者空氣或水冷卻附件以及合適的前級泵。

功能和優勢

通過板上智能控制可以降低運行功耗，減少運行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動、智能冷卻風扇和自動排氣選件。
與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個或多個真空計而不需要額外的顯示控制器。
并行或串行接口。
- 并行模式允許使用傳統控制信號界面。
- 串行模式提供 RS232，可以全面控制泵狀態，并連續監控：
  - 排氣閥控制設置
  - 運行速度指示
  - 待機運行速度
  - 可編程功率設置
  - 功耗
  - 泵/控制器溫度
標配的入口篩網。
用于清潔泵、減少振動和zui大程度降低磨損的永磁上軸承。
手動排氣閥（電磁閥操作的型號可以用于全自動排氣）。
Holweck 分級實現高吞吐量和高前級壓力容差。
氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護電機和下軸承。

技術數據

入口法蘭	DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K
抽速 ISO63/63CF （DN40NW）（ISO100）
N₂	61 ls^-1 （42 ls^-1）（66 ls^-1）
He	57 ls^-1 （49 ls^-1）（59 ls^-1）
H₂	53 ls^-1 （48 ls^-1）（54 ls^-1）
壓縮比
N₂	>1 × 10¹¹
He	1 x 10⁶
H₂	5 x 10⁴
極限壓力（mbar）
帶有 RV 前級泵 ISO/CF	<5 x 10^-9 / 5 x 10^-10
帶有隔膜前級泵 ISO/CF	<5 x 10^-8 / 5 x 10^-9
出口法蘭	DN16NW
前級泵	RV5/nXDS5i
排氣口	1/8 英寸 BSP
吹掃口	1/8 英寸 BSP
zui大連續進氣口壓力（輕氣體泵送）^†
水冷卻（15 °C 水，40 °C 環境溫度）	2 × 10^-2 mbar
強制空氣冷卻，35°C 環境溫度	1 × 10^-2 mbar
泵旋轉速度
標稱旋轉速度	90000 rpm
待機旋轉速度	在 49500 至 90000 rpm 之間變化（63000 rpm 默認）
可編程功率限制設置	可在 50 至 120 W 之間變化（默認為 80 W）
到 90% 速度的啟動時間	110 s ‡
模擬輸出	轉速；功耗；泵溫度；控制器溫度
冷卻方法^#	強制空氣/水
強制空氣冷卻的環境空氣溫度	5 - 35 °C
zui小冷卻水流速（15 °C 的水）	15 l h^-1
水溫范圍	10 - 20 °C
zui高入口法蘭溫度	100 °C
操作姿態	垂直且豎直，直到水平
1 米處的噪音級別	<50 dB（A）
泵可以承受的zui大磁場	5 mT
*控制器	TIC100 分子泵和儀器控制器
靜止電功率	10 W