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喜開理(上海)機器有限公司
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符合微細化發展的需求,具備高耐久性的工藝氣體用閥。按照客戶需求備有3種類型。行業化學液體供給設備用元件化學氣體供給設備用元件半導體制造工序(前工序)氮氣清洗關聯元件
【AGD-HD系列】
耐久性:保證1000萬次(實測值:3000萬次)
適用于集成化供氣系統(1.5inch, 1.125inch)
可適用于單體閥
【AGD-HDF系列】
耐久性:保證1000萬次(實測值:3000萬次)
適用于高溫:~200℃
適用于集成化供氣系統(1.5inch, 1.125inch)
可適用于單體閥
裝配響應穩定執行器
【AGD21R-A系列】
耐久性:保證3000萬次(實測值:1億次)
流體溫度:適用于150~200℃
適用于集成化供氣系統(1.5inch)
裝配響應穩定執行器
高Cv值:0.4以上
型號 | 名稱 | 流體溫度 | 實測值 | 備注 |
---|---|---|---|---|
AGD※※R-HD | 高耐久氣控閥 | 5~80℃ | 3000萬次以上 | |
AGD※※R-HDF | 高溫, 高耐久閥 | 20~200℃ | 3000萬次以上 | |
AGD21R-A | 高溫, 高耐久閥 | 150~200℃ | 1億次以上 |
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