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真空壓力控制系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號IAVB

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更新時間：2025-01-08 09:03:32瀏覽次數(shù)：48次

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喜開理(上海)機器有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：461條

所在地區(qū)：上海

聯(lián)系人：孫（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

既保持了高真空閥原本的可靠性，還能進行可實現(xiàn)多種工藝的壓力控制。行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（前工序）半導(dǎo)體制造工序（后工序）

詳細介紹

【可進行緩慢排氣控制】
與通常的ON/OFF真空閥和兩段排氣真空閥相比，實現(xiàn)了固定比率的緩慢排氣。

【新增壓力控制功能】
以可靠性高的真空閥為基礎(chǔ)，增加壓力控制功能。
真空時的壓力調(diào)節(jié)無需減壓閥和可變漏閥。
通過采用截止閥方式，以O(shè)形圈密封結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了蝶閥不擅長的全閉動作。

【維護簡便】
閥和電裝部可分別維護。

型號	名稱	配管方式	備注
IAVB※17	真空壓力控制系統(tǒng)	NW16, 25, 40, 50
IAVB-CONT	IAVB用控制器	-

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 控制器



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