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喜開理(上海)機器有限公司
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實現高速且穩定響應性的小型發生器單元。小型、輕量,尤其實現了高度尺寸的緊湊化?!緡娮熘睆健?.4, 0.5, 0.6 (㎜)【吸入流量(L/min(ANR))】2~9.5行業半導體制造工序(后工序)
【小型、輕量】
于安裝空間有限的客戶。
產品高度緊湊化。
【高速且穩定的響應性】
主閥采用直動閥,實現高速且穩定的響應性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)
【4種壓力傳感器】
壓力傳感器備有4種模擬輸出類型。
型號 | 名稱 | 噴嘴直徑 | 備注 |
---|---|---|---|
VSN-H | 單品型?高真空?中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSN-E | 單品型?高真空?小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-H | 集成型?高真空?中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-E | 集成型?高真空?小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-Z | 集成型?混合規格 | - |
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