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喜開理(上海)機器有限公司
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省空間且提高了維護性的工藝氣體供給系統。從設計到制作均可根據客戶需要的流程進行。1.5inch,采用CS密封。行業半導體制造工序(前工序)化學氣體供給設備用元件
【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件,構建工藝氣體供氣線。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設計到裝配、檢查完成后交付,可減少客戶的工時。
型號 | 名稱 | 內容 | 尺寸 | 配管方式 | 備注 |
---|---|---|---|---|---|
IAGD3 | 集成化供氣系統 | - | - | CS密封 | |
MAGD3 | 集成化供氣系統用元件 | 氣控閥 | 1.5inch | - | |
MOGD3 | 集成化供氣系統用元件 | 手動閥 | 1.5inch | - | |
MFGD3 | 集成化供氣系統用元件 | 流量調節閥 | 1.5inch | - | |
MCGP3 | 集成化供氣系統用元件 | 單向閥 | 1.5inch | - |
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