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喜開理(上海)機器有限公司
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以緊湊的結構確保滴液,可高精度控制回吸。可防止化學液體在晶圓上噴吐不良等現象。可根據流體粘度優化定制設計。行業
【防止液體滴落】
與微速型速度控制器組合,可調節為滴液狀態。
【動作原理】
要流入流體時,事先對控制氣口施加氣壓,降下膜片。
阻止流體時,如果向大氣排放控制氣口的空氣,膜片在彈簧力的作用下上升,吸油閥內的容積增大,從而防止流體滴落。
型號 | 名稱 | 回吸量 | 連接尺寸(配管外徑?螺紋直徑) | 配管方式 | 備注 |
---|---|---|---|---|---|
AMSZ2 | 小口徑 | 0.04 cm3 | 1/8", 3 mm | SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc | |
AMS022 | 中口徑 | 0.12 cm3 | 1/8", 1/4", 6 mm | SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc |
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