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復合分子泵

FF型復合分子泵廣泛地應用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質譜儀；真空鍍膜行業、顯像管生產、半導體制造業、等離子刻蝕等領域。
主要性能特點：

1.高極限真空

*的整體加工轉子，可運轉于更高的工作轉速，提高了泵的極限真空。

2.大抽速

是由渦輪級和牽引級復合而成，從而提高了泵的抽速。

3.高壓縮比

轉子*的螺旋槽式牽引級使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。

4低噪音

采用高精度球軸承，動平衡好，對軸承的磨損小，軸承壽命長，整機振動小，噪音低。

5.清潔無油

是靠動葉片和定葉片的相對運動抽除、拖動、傳輸氣體分子排出，因此可獲得清潔無油的高真空和超高真空。

6.節能

由于整體轉子比分體轉子輕，因此電機負載小，消耗功率小，可以運行更高的轉速。

用途：

主機
 
進氣口通徑  DN250mm
 
排氣口通徑  KF40mm
 
抽氣速率  1600L/s
 
極限壓強  5×10-7Pa （金屬密封）  5×10-6Pa （橡膠密封）
 

壓縮比  N2:108       H2:4×103
 
電機轉速  24000r/min
 
啟動時間  ＜10min
 
潤滑油量  260ml
 
冷卻方式  水冷
 
冷卻水耗量  90L/h
 
冷卻水溫度  ＜24℃
 
安裝位置  垂直
 
電源:
 
zui大功率輸入  1 KW
 
輸出電壓  120V（峰值）
 
輸出頻率  400Hz+10Hz
 
啟動電流  5A
 
工作電流  2A