SM5651/SM5652微差壓傳感器
SM5650系列為帶溫度補償、校準的雙列直插微差壓傳感器，該傳感器性能*，可采用恒流激勵或恒壓激勵。
SM5600系列為陶瓷基底貼裝高穩定壓阻壓力傳感器芯片，利用陶瓷基底上的厚膜電阻可進行零度校正和溫度補償。SM5651在恒流驅動下采用外加平衡電阻對差動放大器的輸出進行校正。而SM5652在恒壓激勵下對輸出信號進行調整。
SM5651采用恒流激勵，SM5652采用恒壓激勵。
SM5600系列為陶瓷基底貼裝高穩定壓阻壓力傳感器芯片，利用陶瓷基底上的厚膜電阻可進行零度校正和溫度補償。SM5651在恒流驅動下采用外加平衡電阻對差動放大器的輸出進行校正。而SM5652在恒壓激勵下對輸出信號進行調整。
SM5651采用恒流激勵，SM5652采用恒壓激勵。
特性 應用
● 低壓（0-0.15psi FS到0-3.0 FS）
● 恒流或恒壓激勵 ● 醫療設備
● 易于采用雙列封裝（DIP） ● *
● 寬范圍溫度補償（0-60℃） ● HVAC
● 校正度可達±%2 ● 液位儀
● 零壓校正 ● 流量計
● 高性能硅芯片 ● 工業控制
● 表壓、差壓和絕壓配置 ●微差壓變送器
產品樣圖
SM56系列電氣連接方式
SM5651/SM5652性能指標及測試條件
SM5651 Iexc=1.5mA；Vexc=10Vdc T=25℃
| 參數 | zui小值 | 標準 | zui大值 | 單位 |
| 激勵 | | |||
| 電流（SM5651） | 0.00 | 1.5.0 | 3.00 | mA |
| 電流（SM5652） | 0.00 | 10.00 | 20.00 | V |
| 輸出 | | |||
| SM5651* | 25.0 | 45.0 | 75.0 | mV |
| SM5652** | 24.5 | 25.0 | 25.5 | mV |
| 零壓 | -2.00 | ±0.20 | 2.00 | mV |
| 溫度特性 | | |||
| 滿量程 | -0.65 | ±0.2 | 0.65 | %FS |
| 零點 | -1.00 | ±0.2 | 1.0 | %FS |
| 溫度滯后 | | ±0.05 | 0.30 | %FS |
| 精度 | | |||
| 線性度 | -0.30 | ±0.05 | 0.30 | %FS |
| 重復性 | -0.30 | ±0.05 | 0.30 | %FS |
| 壓力滯后 | -0.30 | ±0.05 | 0.30 | %FS |
| 靈敏度匹配 | -2.00 | ±0.20 | +2.00 | %FS |
| 電阻（SM5611） | | |||
| Z輸入 | 1.8 | 3.00 | 3.80 | KΩ |
| Z輸出 | 2.70 | 3.30 | 3.80 | KΩ |
| 電阻（SM5612） | | |||
| Z輸入 | 4.50 | 8.00 | 25.00 | KΩ |
| Z輸出 | 2.00 | 2.50 | 3.80 | KΩ |
| 溫度范圍 | | |||
| 校正 | 0 | | 60 | ℃ |
| 使用 | -40 | | 125 | ℃ |
| | -5儲存5 | | 125 | ℃ |
| 動態特性 | | | | |
| 耐壓 | 10% | | | FS |
| 瞬間壓力 | 15% | | | FS |
*芯片底孔壓力定為負壓；出廠校準時增益設為負壓
**SM5652,015psi動態范圍從23.75~26.25
***測量范圍0~60℃
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