Prep-5型 等離子清洗/刻蝕機(jī)
真空艙體 Φ150mm × L320 mm　水平 （5 升）
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 數(shù)字計(jì)時(shí)器可自動(dòng)設(shè)定操作程序
* 皮拉尼真空泵可設(shè)定重復(fù)操作
* 銅氣體管、氣體流量計(jì)、 針閥
* 使用氣體流量計(jì)和針閥控制氣體
* 自動(dòng)計(jì)時(shí)器控制等離子處理過(guò)程
* 半自動(dòng)控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-200W
* 自動(dòng)阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體
* 安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入反應(yīng)艙
* 規(guī)格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體
配件選裝指南
•  13.56MHz射頻發(fā)生器
•  2.45GHz射頻發(fā)生器
•  半自動(dòng)控制系統(tǒng)
　
•  全自動(dòng)控制系統(tǒng)- 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng)
•  計(jì)算機(jī)（PC）控制系統(tǒng)- 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng)同時(shí)可記錄處理的整個(gè)過(guò)程
•  附加氣體通路
　
•  自動(dòng)真空艙門
•  設(shè)備自動(dòng)門
•  條碼閱讀器
•  偏壓測(cè)量系統(tǒng)
•  碟型閥
•  排氣過(guò)濾系統(tǒng)
•  適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
•  艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
•  粉末處理裝置
•  法拉第容器