實時無線溫濕度監測系統在半導體行業潔凈室中的問題及解決方案

【面臨問題】

微機電、晶圓、芯片等高精尖要求的半導體行業加工精度越精細，對溫濕度波動的范圍要求越小。如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1℃，就會引起0.24um線性膨脹。在這樣的情境下，溫度需要準確控制，避免影響產品的質量。

潔凈室內溫度的影響主要是從產品精度，合格率以及污染的角度（溫度升高后，會引起人出汗，汗水會對產品產生污染，特別是怕鈉的半導體車間）來考慮的。越精細、集成度高的電子加工，對溫度的敏感性越大。

濕度太高會使物體表面的灰塵難以清除，但是相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于物體表面，靜電會使半導體器件發生擊穿。

按照半導體生產工藝的特點，潔凈室一般溫度控制在20-25℃，濕度控制在50-60%RH，這個范圍不但滿足了生產工藝的要求，而且人在這樣的環境下也感到舒服。

【解決方案】

實時無線溫濕度監測系統：

實時無線溫濕度監測系統憑借其高精度、穩定、抗gan擾能力強，低功耗等的特性贏得了客戶的青睞。實時無線溫濕度記錄儀，成為了他們選擇的明星款產品。采用組網方式多點監測被測環境里的溫濕度分布情況，并利用無線網關進行數據導出分析。這款記錄儀很好的滿足了客戶對儀器高精度、長期穩定、通訊距離遠，抗gan擾能力強，低功耗，可以在線連續監測，在測量精度高的同時穩定性強。可以為工作者提供關鍵控制和監測數據的需求。

【產品特點】

1、測量精度高，穩定性強，設計美觀

2、高精密溫濕度探頭，數據精度高

3、可記錄數據，遠距離、低功耗、信號更穩定，數據不丟失

4、無線傳輸 抗*擾能力強

5、多點監測 無線通訊

6、數據秒級上報 預警更及時

7、移動性：不受時間,空間的限制

8、低成本：無線局域網不需要大量的工程,同時節省維護的費用。

實時無線溫濕度監測系統在半導體行業潔凈室中的問題及解決方案