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用于過程監測和優化產品品質的分析設備
德國普發真空pfeiffer vacuum氣體質譜儀HiQuad™，QMG 700
普發真空為真空處理過程中的氣體測定提供了各種不同的分析儀。從質譜儀到復雜的分析系統，在我們這里您將會找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質譜儀 PrismaPlus/PrismaPro 是氣體分析Z基礎的設備。PrismaPlus/Pro 是一個普遍適用的質譜儀，其磁場軸技術保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測量速度快的特點。并且 PrismaPlus/Pro 不僅僅顯示各自的分壓，同樣也可以檢測總壓力。它的界面接口使這款質譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設計，模塊化結構和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測、半導體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設備。另外，在研發領域也有無數的應用。普發真空為其客戶在所有這些領域中提供量身定制的解決方案。當然，普發真空還提供所需的質譜儀配件，例如各種離子源陰極。
什么是質譜儀
質譜測量是一種可以用來測量原子和分子質量的方法。通過這種方式測量化學混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質首先被轉化為氣態的聚合狀態并且發生電離。電場使離子加速，使得它們在其各自的質荷比基礎上被分類和分離。然后測定氣體各種成分的分壓。每個質譜儀包括一個離子源、一個質量過濾器和一個檢測器。根據所采用的質量過濾器來區分不同類型的質譜儀 。由于其廣泛的應用選項，四極桿質譜儀具有可靠的測量表現。這些分析設備也經常用于真空技術。
質譜儀及其應用
四極桿質譜儀具有平行排列的四根電極桿，構成了四極場。它們的交點與平面垂直于圓柱體軸線，形成一個場（因此命名為四極）。靜態電場使離子加速以后，離子飛過四極場。桿之間的四極場每次只會允許給定質量的一個粒子通過，。四極桿質譜儀提供高分辨率版本以簡易版兩種型號供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬，這類質譜儀可應用于眾多領域，包括從藥理學到環境分析領域。
HiQuad™，QMG 700，具有 QMA 400，8 mm 鉬棒系統
具有用戶友好 Quadera®軟件的 HiQuad 質譜儀系統。帶 HiQuad 控制器、高頻發電機和配 8-mm-Mo 穩定系統以及 90°-off-axis 次級電子倍增器的分析儀 QMA 400 的規格。
產品描述
高靈敏度和大動態范圍
杰出長期穩定性
測量速度
高分辨率、質量分離和傳輸
產品
HiQuad™ 具有 QMG 700, 1-512 amu
HiQuad™ 具有 QMG 700, 1-512 amu
模塊化結構 HiQuad 質譜儀系統可選擇性與您的應用相匹配，有離子源和離子光學機構可供選擇：軸向離子源、格柵離子源、交叉臂離子源，不帶和帶磁鐵，氣密交叉臂離子源，離子光學機構，2 或 3 透鏡，不帶和帶交叉臂離子源。長絲材料：鎢，釔銥，錸控制輸入/輸出模塊 IO 700，通過模擬式和數字式輸入端/輸出端的信號交換
產品描述
測量速度
杰出長期穩定性
內置互聯網瀏覽器和用于與計算機程序通訊的 OPC 服務器
產品
HiQuad™ 具有 QMA 400，1-512 amu，具有交叉束離子源和磁鐵 (PT Q15 031 110)
HiQuad™ 具有 QMA 400，1-512 amu，具有交叉束離子源和磁鐵
概述
HiQuad 質譜儀
測量速度，動態范圍大，靈敏度和杰出長期穩定性
偏置離子源形成的低背景信號，場軸技術形成的低探測界限
Quadera®軟件用以簡單和明了的操作和顯示
借助集成的矩陣計算確定氣體濃度
技術參數
| MID 中的測量通道的數量 | 128 件 |
| 供應: 電壓 | 100 – 240 V AC |
| 分壓比 帶 SEV | < 0.5 ppb |
| 分析儀 | QMA 400 |
| 分辨率，10% 峰值高度時可調節 | 0.3 - 7 u |
| 前置放大器 | EP 422 |
| 加熱溫度：分析儀 | 400 攝氏度 |
| 對 Ar 的靈敏度：法拉第 | 5 · 10-4 A/hPa |
| 峰值比的可再現性 | < 0.1 % |
| 工作溫度：分析儀 | 150 攝氏度 |
| 工作溫度：電氣設備 | 5 – 40 攝氏度 |
| 探測器 | SEV 217/Faraday |
| 接口 | 以太網 |
| Z大工作壓力：SEM | 1 · 10-5 百帕 |
| Z大工作壓力：法拉第 | 1 · 10-4 百帕 |
| 桿系統：材料 | 鉬 |
| 桿系統：直徑 | 8 毫米 |
| 桿系統：長度 | 200 毫米 |
| 檢測限 | 1 · 10-15 百帕 |
| 測量速度：MID | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 測量速度：掃描條形圖 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 測量速度：模擬掃描 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 溫度：儲存 | -20 – 60 攝氏度 |
| 離子源 | 交叉臂，2 陰極，配導向磁鐵 |
| 離子源供電 | IS 716 |
| 質量范圍 | 1 – 512 u |
| 軟件 | Quadera® |
| 輸入數字 | RUN-In, TTL, 測量循環啟動 Ext._Protection, 外部觸點 |
| 輸入模擬 | 2 x ± 10 V |
| 輸出：數字 | 2 x TTL-Output SYNC-Out, TTL (Trigger) |
| 輸出：模擬 | 2 x ± 10 V, 12 位 靜電計輸出端 (EP) |
| 連接法蘭（入口） | DN 63 CF-F |
| 陰極 | 鎢 |
| 高壓供電 | HV 701 |
| 高頻發電機 | QMH 400-5 |
尺寸
A
軸向離子源 = 26 mm 格柵離子源 = 27 mm
