半導體推力測試儀優化了測試模塊，適應不同類型測試環境的能力，保證了同一測試模塊在不同主機上工作地測試數據得可靠性、以及一致性。半導體推力測試儀所有測試傳感器均采用自動量程設計，全量程分辨率一致，客戶不用在測試之前對軟件進行復雜耗時地擋位設置。所有測試傳感器模塊均采用垂直位移定位技術，確保測試的狀態可靠，定位地動作快速?？煞胖玫米笥覔u桿控制器，操作舒適得搖桿控制器。

產品優勢：

1.采用測試工位自動模式，在軟件選擇測試工位后，系統自動到達對應工作位。

2.三個工作傳感器，采用獨立采集系統，保證測試精度。

3.每項傳感器采用獨立防碰撞及過力保護系統。

4.每項測試工位采用獨立安全限位及限速功能。

5.人性化的操作界面，人員操作方便。

6.高精度傳感系統結合力學算法，確保測試的精度。

產品特點：

1.采用精密動態傳感采集技術，確保測試數據精度的真實性。

2.采用進口傳動部件，確保機臺運行穩定性及測試精度。

3.三工位自動旋轉切換，避免因人員誤操作帶來的設備損壞。

4.霍爾雙搖桿四向操作，讓操作簡單、方便。

5.匹配工廠MES系統。

6.測試數據實時保存與導出，方便快捷。

測試參數：

設備型號：LB-8500L

外型尺寸：1500*1200*1600

設備重量：約850KG

電源供應：110V/220V@4.0A   50/60HZ

壓縮空氣：4.5-6Bar

真空輸出：500mm Hg

控制電腦：聯想PC

軟件運行：Windows7/Windows10

顯微鏡：三目影像顯微鏡

傳感器更換方式：自動切換或手動更換測試模塊

平臺治具：平臺共用多種測試治具，按客戶樣品量身設計匹配治具

XY軸有效行程：X軸有效行程500mm，Y軸有效行程300mm，可按客戶產品訂制具體尺寸

Z軸有效行程：80mm

XY軸分辯率：±1um    Z軸分辯率±1um

傳感器精度：傳感器精度±0.003％；綜合測試精度±0.25％