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BG-401A曝光機(jī)

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱三河建華高科有限責(zé)任公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/7/14 8:39:37
訪問(wèn)次數(shù)618

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

三河建華高科有限責(zé)任公司成立于2003年6月13日，是隸屬公司地四十五研究所的國(guó)有控股公司。公司地處北京東燕郊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)海油大街253號(hào)，占地100畝；公司現(xiàn)有總資產(chǎn)1.668億元，資產(chǎn)負(fù)債率0.4%，銀行信用等級(jí)AA+。三河建華高科有限責(zé)任公司以打造“中國(guó)半導(dǎo)體制造設(shè)備的者”為目標(biāo)，致力于半導(dǎo)體元器件材料加工和芯片制造及檢測(cè)專用設(shè)備的研究開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)制造，傾力建設(shè)華北地區(qū)高精密機(jī)械、光學(xué)、電氣零部件制造中心。公司現(xiàn)有職工230余人，其中各類技術(shù)人員60余人，高級(jí)技術(shù)職稱30余人，高級(jí)技能以上人才70余人。先后榮獲了國(guó)家科技型中小企業(yè)、河北省企業(yè)、科技小巨人、工業(yè)企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)、廊坊市研發(fā)平臺(tái)、廊坊市企業(yè)技術(shù)中心、廊坊市專用設(shè)備及精密零部件制造研發(fā)中心等多項(xiàng)榮譽(yù)。經(jīng)過(guò)多年的科學(xué)運(yùn)作和生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)，公司規(guī)模逐步壯大，每年的銷售收入呈逐年增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)，公司固定資產(chǎn)處于增值的良好狀態(tài)。

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對(duì)準(zhǔn)及曝光

BG-401A曝光機(jī) 產(chǎn)品信息

主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對(duì)準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高、重復(fù)性好，并具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。

主要技術(shù)特點(diǎn)

對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)

對(duì)準(zhǔn)精度搞，漂移小，精密楔形誤差補(bǔ)償機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)找平，找平力小，延長(zhǎng)掩摸版使用壽命。

曝光系統(tǒng)

采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學(xué)件，具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。

分離視場(chǎng)顯微鏡

在X、Y方面進(jìn)行大范圍掃描觀察，可進(jìn)行單視場(chǎng)或雙視場(chǎng)切換，提高對(duì)準(zhǔn)效率和套準(zhǔn)精度，同時(shí)兼容CCD成像顯示功能。

控制系統(tǒng)

電氣控制采用可編程序控制器（PLC）、LCD顯示器，操作方便，汞燈電源易于觸發(fā)，可靠性高。該設(shè)備的關(guān)鍵件采用進(jìn)口或?qū)I(yè)廠家制造，氣動(dòng)元件采用SMC產(chǎn)品，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性，同時(shí)提供個(gè)性化服務(wù)

主要技術(shù)指標(biāo)

性能名稱		技術(shù)指標(biāo)
適用基片尺寸		Max. φ4″（φ100mm）
適用掩模版尺寸		Max. 5″（125mm×125mm）
工作臺(tái)行程	Ｘ向	±5mm
	Y向	±5mm
	Z向	3mm
	θ向	±12°
基片與掩模版分離間隙		0～0.05mm
對(duì)準(zhǔn)精度		±1μm
分離視場(chǎng)顯微鏡	目鏡	10×
	物鏡	10×
	物鏡分離距離	28～90mm
	掃描范圍	50mm×50mm
	調(diào)焦范圍	8mm
曝光光源		250W進(jìn)口超高壓汞燈
光強(qiáng)		≥15mW/cm²
曝光面積		φ108mm
曝光分辨率		1.5μm（真空接觸）
曝光不均勻性		±3%
曝光時(shí)間		0～999s
整機(jī)功率		1000W
外型尺寸（長(zhǎng)×寬×高）		740mm×830mm×1300mm