微納電子教學套件（工藝版）是便攜式微納電子學工藝教學實驗平臺的一部分，該產品模擬工業半導體工藝技術，提供交互式的半導體單步工藝、器件制造工藝的仿真體驗。

產品簡介

半導體工藝已經進入7nm FinFET時代，然而相關教學材料（如教科書、課堂講義和實驗設備）卻極大地落后于時代步伐，甚至其中一些教學素材仍然在使用20年前的內容。這使得學生所掌握的知識與實際半導體行業要求差距甚遠。

微納電子教學套件（工藝版）是一款基于“虛擬化”教學的創新型產品，適合于高校及其它教育機構，限度地減小教學與工業界的差距。涵蓋現代半導體的主要單步工藝（清洗、氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、擴散和化學機械拋光等），模擬操作單步工藝的方法、材料以及設備參數的設定。涉及MOSFET、FinFET、LDMOS和GaN等多種半導體器件的制造工藝流程，包括制造流程中每步工藝的參數設定等實踐操作。并支持工藝版SEK產品與器件版SEK產品的互連（通過BNC接口），實現對完成工藝制造流程器件的電學特性測量。該教學套件擁有人性化的圖形交互界面，實驗箱集成了可按鍵操作的液晶顯示屏，模擬實際工藝設備的操作面板，強化工藝學習的實踐性。微納電子工藝教學套件（工藝版）

作為一款強大的教學和實驗工具，可以應用于如下場景：

? 半導體工藝教學工具：用于仿真、圖形化顯示主要半導體單步工藝

? 半導體工藝教學輔助演示：用于直觀展示典型器件制造工藝流程

? 半導體工藝實驗教學工具：模擬半導體工藝設備的操作行為，可讓學生體驗現代半導體工藝制造流程和關鍵參數設定。

產品特性

? 直觀全面及實踐性：能夠演示主要的半導體單步工藝的結構剖面圖，直觀展示典型半導體器件的制造工藝流程，實驗箱液晶顯示屏與參數設定按鍵配合使用，可實現真實半導體工藝設備的模擬操作，增強工藝教學的實踐性。

? 與時俱進及可拓展性：產品包含當前器件的制造工藝流程（如FinFET、GaN等），預留4個定制按鍵用于用戶特殊器件工藝的定制需求，半導體工藝模擬器可以根據行業工藝技術的發展進行同步更新。

應用示例

? 單步工藝模式

模擬半導體器件制造中的單步工藝，學習單步工藝如：清洗、氧化、離子注入、刻蝕等的基本原理及其在器件中的作用。                  

器件制造模式

集成了8種器件的制造工藝流程，交互式演示器件制造的多個工藝步驟過程，支持工藝步驟參數的輸入，工藝仿真輸出包括器件每一步工藝的結構剖面圖、摻雜濃度等信息，用戶可以通過點選的方式學習器件的結構組成、摻雜濃度分布和關鍵工藝參數等，如圖21所示

器件測試模式

測試功能能夠給出工藝仿真步驟完成的器件的I-V特性曲線，可快速將器件工藝特性與真實的半導體器件特性關聯起來