器件教學(xué)套件和工藝教學(xué)套件為用戶提供了一個學(xué)習(xí)7nm工業(yè)級“數(shù)據(jù)”的機會,而在當(dāng)前高校教育中,還需要學(xué)生熟悉真實的工業(yè)“場景”,場景+數(shù)據(jù)的模式,讓同學(xué)能夠“知其然,知其所以然”,為此,我們建立了一個7nm集成電路虛擬現(xiàn)實(VR)實驗室,重現(xiàn)真實的工業(yè)“場景”。
產(chǎn)品簡介
“中興事件”、“華為事件”相繼爆發(fā),中美貿(mào)易戰(zhàn)曠日持久,集成電路對于國家綜合國力的重要性不言而喻。當(dāng)前集成電路高校教學(xué)重視理論,缺少實踐機會,與真實集成電路人才的需求脫節(jié)。出現(xiàn)這一現(xiàn)象的原因可以歸結(jié)為三點:
?集成電路發(fā)展迅速,根據(jù)摩爾定律,集成電路的集成度每兩年就要翻一番,技術(shù)層出不窮,而學(xué)校還是沿用幾年甚至十幾年前的理論進(jìn)行指導(dǎo),即使有實踐環(huán)境,也是很多年前的舊設(shè)備、舊工藝,與真實的集成電路制造脫節(jié)。
?集成電路設(shè)備昂貴,相關(guān)設(shè)施在實驗操作過程中(比如扎探針)容易損壞,工藝線要保證無塵和穩(wěn)定,即使學(xué)校組織學(xué)生進(jìn)行企業(yè)實踐,企業(yè)也很難讓學(xué)生進(jìn)行真正意義的實踐操作。
?由于儀器設(shè)備成本高、占用空間大,因此,實訓(xùn)階段需要的設(shè)備數(shù)量有限,學(xué)生無法做到人手一臺設(shè)備;同時,實驗設(shè)備復(fù)雜多樣,實物實訓(xùn)具有很大的危險性,實驗通常也需要很長的時間進(jìn)行調(diào)試,這使得人員與設(shè)備的安全性無法保證。
為此,我們開發(fā)了7nm集成電路虛擬現(xiàn)實(VR)實驗室,包含如下內(nèi)容:
1.工業(yè)級集成電路制造設(shè)備:如300毫米(12英寸)半自動探針臺、光刻機等。
2.工業(yè)級設(shè)備使用過程模擬,包括:裝晶圓、扎探針、工藝線操作、封裝線操作等操作過程。
3.工藝線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個真實的工藝線中。
4.封裝線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個真實的快封線中。
5.測試線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個真實的測試線中。
學(xué)生將基礎(chǔ)實驗設(shè)備進(jìn)行連接,并佩戴VR設(shè)備,VR體驗設(shè)備模擬出如圖24所示的集成電路晶圓測試實驗場景,學(xué)生根據(jù)步驟完成實驗流程:
集成電路虛擬工藝線模塊
虛擬工藝線工業(yè)場景,包含天車系統(tǒng)和EUV光刻機等14nm工藝線主流場景和設(shè)備,與14nm集成電路工藝教學(xué)套件配合使用,提供全套軟硬件設(shè)施和實驗教材。
集成電路封測實驗線模塊
虛擬集成電路封測工業(yè)場景,完成封裝測試過程,提供全套軟硬件設(shè)施和實驗教材。