成本效益

● SENpro 是具成本效益的光譜橢偏儀，同時不影響測量性能。

可變入射角

● 光譜橢偏儀 SENpro 包括可變入射角的角度計，40°—90°，步進值 5°，用于優化橢偏測量。

步進掃描分析器

● SENpro 具有步進掃描分析器。在數據采集過程中，偏振器和補償器固定，以提供高的橢偏測量精度。

● 光譜橢偏儀 SENpro 具有操作簡單，測量速度快，能對不同入射角的橢偏測量數據進行組合分析等特點。光譜范圍為 370 到 1050 nm。SENpro 的光譜范圍與精密的 SpectraRay/4 軟件相結合，可輕易地確定單層膜和復合層疊膜的厚度和折射率。

● 具有成本效益的桌面式 SENpro 包括可見光到近紅外橢偏儀光學，5° 步進角度計，樣品臺、激光準直器、光纖耦合穩定光源和探測器單元。SENpro 配備了用于系統控制和數據分析的光譜橢偏儀軟件 SpectraRay/4 ，用于包括建模，擬合和報告輸出。即使對于初學者，該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計算機控制的用于均勻性測量的自動掃描。

● SENpro 專注于薄膜測量的速度和精度，不管是何種薄膜應用。測量范圍從 1 nm 的薄層膜到 15 μm 的厚層膜。

● 對于各種各樣的應用，SpectraRay/4 都提供了預定義的配方。