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主機儀器架# 大理石工作臺面# 高精密氣浮主軸# 大理石立柱系統# 橫導軌移動裝置# 調心調平工作臺# 精密三爪卡盤# 空氣過濾系統# 電器控制系統# 圓光柵編碼器# 電感傳感器# 電腦# HP噴墨打印機# 測量軟件# 標準玻璃半球# 橢圓標準件
項目 Item | 參數 Parameter | |
測量范圍 measuring range | 直徑 Max. dia. | ф220mm |
| 最小內徑 Min. inner dia. | ф3mm |
| 高度 Max height | 350mm |
主軸精度 Spindle accuracy | 徑向誤差 Radial error | ±(0.025+5H/10000)μm |
| 軸向誤差 Axial error | ±(0.02+6X/10000)μm |
工作臺 Workbench | 臺面直徑Table dia. | φ160mm |
| 回轉直徑Rotation dia. | φ300mm |
| 承載重量Load Wt. | 30Kg |
| 調整范圍 Adjustment range | 調偏心±2mm ; 調水平±1° Adjust the eccentricity ±2mm; adjust the level ±1° |
| 旋轉速度Rotation Speed | 0-12 rpm |
水平臂 Horizontal arm | 水平移動距離 Horizontal moving distance | 150mm |
| 移動速度Moving speed | 0.5-6mm/s 或手動 0.5-6mm/s or manual |
傳感器 sensor | 量程range | 500μm (半徑差) 500μm (radius difference) |
| 分辨率Resolution | 0.005μm |
| 測針形狀 Stylus shape | φ2mm寶石球測頭（有更多直徑可選擇） φ2mmRuby tip (φ1mm、φ0.5mmoptional) |
| 測力 Meas. force | 1-12g |
數據采集 Data acquisition | 進口光柵7200點/周 Imported grating7200 points/cycle | |
放大倍率 Magnification | 任意至20萬倍 Arbitrary to maximum 200,000 times | |
