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主機儀器架# 大理石工作臺面# 高精密氣浮主軸# 氣浮立柱系統# 橫導軌移動裝置# 調心調平工作臺（臺面直徑Ф200mm、臺面高度70mm；調整范圍：調偏心±2mm ; 調水平±1°）# 精密三爪卡盤（外尺寸裝夾范圍：Ф1 mm ~~Ф81mm；內尺寸裝夾范圍：Ф31 mm ~~~Ф70 mm）# 空氣過濾系統# 電器控制系統# 圓光柵編碼器# 電感傳感器# Ф1x10mm# Ф2x10mm# 工業控制計算機# HP噴墨打印機# 測量軟件# 橢圓標準件# 圓柱標準器# 使用說明書# 產品保修卡# 產品裝箱單# 合格證# 設備驗收單# 工具箱
項目 | 參數 | |
測量范圍 | 直徑 | ф400mm |
| 最小內徑 | ф3mm |
| 高度 | 550mm |
主軸精度 | 徑向誤差 | ±(0.025+5H/10000)μm |
| 軸向誤差 | ±(0.025+6X/10000)μm |
回轉軸線與Z軸導軌平行度 | 2μm/400mm（母線基準） | |
工作臺 | 臺面直徑 | φ200mm |
| 回轉直徑 | φ420mm |
| 承載重量 | 60Kg |
| 調整范圍 | 調偏心±2mm ;調水平±1° |
| 旋轉速度 | 0-12 rpm（可調） |
立柱 | 直線度（窄范圍） | 0.5μm /100mm |
| 直線度（全范圍） | 0.8μm /400mm |
水平臂 | 水平移動距離 | 180mm |
| 移動速度 | 0.5-6mm/s或手動 |
傳感器 | 量程 | 500μm (半徑差) |
| 分辨率 | 0.005μm |
| 測針形狀 | 紅寶石球測頭（直徑2mm） |
| 傳感器方向/調整角度 | 雙方向/±45° |
數據采集 | 進口光柵14400點/周 | |
放大倍率 | 任意至20萬倍 | |
