技術參數：

雙倒置磁控管設計

量程： 1×10-7 ~一個大氣壓

精度： 1×10-6~1×1Pa     30%讀數

            1 ~1×104 Pa   15%讀數

            104 ~105 Pa    50%讀數

重復性精度：±5%讀數

工作溫度：5~55℃

烘烤溫度：150℃

模擬輸出：0-10.5V

供電：14.5~30V

單位mbar，Torr可選

安裝方向：任意

應用：

1）基本壓力監視和控制，在蒸發和濺射

鍍膜應用中從大氣壓到高真空。

2）一般真空測量 – 工業爐、建筑玻璃、

半導體、冰箱和空調。

3）分析和研發應用 – 質譜分析、

電子顯微鏡、醫療、眼科、光學和

高能物理

技術指標

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選項配件

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