加熱式電容膜片真空計
SKY@CDG160D/CDG200D
INFICON SKY CDG160D和CDG200D 高溫壓力計是實現
精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 和CDG200D
真空計溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性
能,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在1托至1000托
滿刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現場
總線接口,能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性
壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔
膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從
大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優
勢 。INFICON CDG壓力傳感器品質本效
益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
優勢
·擁有成本更低,預熱速度快50%,節能,低功耗
·易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
·輕松一鍵調零或遠程信號調零指令,可調零點偏移
·診斷端口用于快速維修和維護
·兩年保修服務, HT 加熱概念和真空計保護延長了使用壽
命
的信號穩定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子
應用,都無需長期執行重新校準
·合規和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
應用范圍
·蝕刻、CVD、PVD及其他半導體生產過程
·化學和腐蝕性高溫過程
·需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
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1) 優化的壓力控制信號濾波器設置
2) 不能使用現場總線接口
粗體=標準產品
其他法蘭類型可按要求提供。
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規格(以托為單位的標準產品)
測量范圍 | 托 | 1000 |
|
|
FS(滿刻度) | 毫巴 帕 | 133,322 1333 | 13,332 1,333 133 13.3 | 133 1.3 |
精度1) | 讀數% | 0.4 | ||
溫度效應 | ||||
需點 | %FS/℃ | 0.005 | ||
滿量程 | 讀 數 % / ℃ | 0.02 | ||
最大壓力 | 千帕(絕對) | 400 | 260 260 | 260 |
分辨率 | %FS | 0.003 | ||
讀數 | %FS | 0.01 | ||
建議的讀數 | %FS | 0.05 | ||
建議的控制 壓力 |
%FS |
0.5 | ||
溫度 | ||||
運行(環境)2 | ℃ | +10 .+50 | ||
在法蘭處烘烤 | ℃ | ≤200 | ||
存儲 | ℃ | -20 .…+65 | ||
電源電壓 | +21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%) | |||
加熱時功耗 | ||||
CDG160D | W | ≤18 | ||
CDG200D | W | ≤25 | ||
運行溫度時的功耗 CDG160D CDG200D |
W W |
≤12 ≤18 | ||
輸出信號(模擬) | 伏(直流) | 0.…+10 | ||
響應時間3) | 毫秒 | 30 | ||
防護等級 | IP 40 | |||
標準 CE符合性 ETL認證 SEMI合規性 |
EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S-2 | |||
電氣連接 | D-Sub,15針,公頭 | |||
設定值 | 2個設定點(SP1、SP2) | |||
繼電器觸點 | 伏(直流)/安(直 | ≤30/≤0.5 | ||
滯后 | 流 ) %FS | 1 | ||
診斷端口 協議 讀 設置 暴露于真空的材料 |
RS232-C 壓力、狀態、ID 設定點、過濾器、調零、出廠設置復位、直流偏置 氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?) |
1)在25°℃環境運行溫度下表現為非線性、滯后、再現性,運行兩小時后無溫度效應
2) 環境溫度>40℃,可能會使表面溫度高于SEMIS2 合規水平—標記“小心燙傷!”
3)增加10.…90% FS
4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
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DEVICENET規格
DeviceNetTM | ||
協議 | DeviceNetTM,僅第2組從屬 | |
數據率開關 千波特 | 125、250、500或可網絡編程 | |
電纜長度 125 kbps 米(英尺) 250 kbps 米(英尺) 500 kbps 米(英尺) |
500(1650) 250 (825) 100 (330) | |
MAC ID | 兩個開關(地址00-63)或可網絡編程 | |
數字功能 | 讀取壓力,選擇單位:托、毫巴、帕 脫氣功能,皮拉尼滿刻度調節 監測真空計狀態 安全狀態允許定義出錯時的行為 詳細的警報和警告信息 | |
模擬功能 | 0 …10伏模擬輸出壓力指示 兩個設定點繼電器A+B | |
視覺通訊指示燈 | LED網絡狀態(綠色/紅色) LED模塊狀態(綠色/紅色) | |
規格 | DeviceNetTM“真空計設備概況” | |
設備類型 | “CG”表示組合儀表 | |
/O從屬傳訊 | 只輪詢 | |
設定點繼電器 范圍 繼電器觸點 滯后 觸點額定值 |
毫巴
讀數% 伏/安(直流) | 2 1×10°…100 常開,無電勢 10 60/0.5 |
DeviceNetTM的電源電壓 真空計的電源電壓 DeviceNetTM的連接器 | 伏/安(直流) 伏/安(直流) | +11-+25/0.5 +20 -+28/0.8 微型,5針 D-Sub,15針,公頭 |
真空計的連接器(模擬輸出、電源電壓、 設定點 |
PROFIBUS
Profibus
D規格
DP
波特率 | 千波特 兆 波 特 | 9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12 |
地址 | ||
兩 個 開 關 ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 網 絡 編 程 | ||
數字功能 | 讀取壓力,選擇單位:托、毫巴、帕 脫氣功能,皮拉尼滿刻度調節 監測真空計狀態、燈絲狀態 安全狀態允許定義出錯時的行為 詳 細 的 警 報 和 警 告 信 息 | |
模擬功能 | 0…10伏模擬輸出壓力指示 兩 個 設 定 點 繼 電 器 A + B | |
設定點繼電器 | 2 | |
范圍 | 毫巴 | 1×10?.…100 |
繼電器觸點 | 常開,無電勢 | |
滯后 | 讀 數 % | 10 |
觸點額定值 | 伏/安(直流) | ≤30/≤0.5 |
Profibus DP的連接器 | D-Sub,9 針,母頭 | |
BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設 定 點 ) | D-Sub,15 針,公頭 |
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